kW-class picosecond thin-disc prepulse laser Perla for efficient EUV generation

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F17%3A00487982" target="_blank" >RIV/68378271:_____/17:00487982 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68407700:21340/17:00327942

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/1.JMM.16.4.041011" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1117/1.JMM.16.4.041011</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/1.JMM.16.4.041011" target="_blank" >10.1117/1.JMM.16.4.041011</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

kW-class picosecond thin-disc prepulse laser Perla for efficient EUV generation

Popis výsledku v původním jazyce

The technology for EUV lithography sources is maturing. LPP sources with usable power >100W have been used in high-volume manufacturing applications and 250-W sources are expected to be introduced in HVM soon. However a further increase of power and cleanness may benefit a powerful picosecond laser in the near-infrared and wavelength converted spectral region. The HiLASE Centre has been working in thin-disc laser technology and has demonstrated a 0.5-kW platform Perla-C based on a very compact Yb:YAG regenerative amplifier. 100-kHz ps operation has been achieved with a fundamental spatial mode and excellent long-term pointing and energy stability.n

Název v anglickém jazyce

kW-class picosecond thin-disc prepulse laser Perla for efficient EUV generation

Popis výsledku anglicky

The technology for EUV lithography sources is maturing. LPP sources with usable power >100W have been used in high-volume manufacturing applications and 250-W sources are expected to be introduced in HVM soon. However a further increase of power and cleanness may benefit a powerful picosecond laser in the near-infrared and wavelength converted spectral region. The HiLASE Centre has been working in thin-disc laser technology and has demonstrated a 0.5-kW platform Perla-C based on a very compact Yb:YAG regenerative amplifier. 100-kHz ps operation has been achieved with a fundamental spatial mode and excellent long-term pointing and energy stability.n

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2017

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS

ISSN

1932-5150

e-ISSN

—

Svazek periodika

16

Číslo periodika v rámci svazku

4

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000418476800011

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85042628721