On the origin of multilayered structure of W-B-C coating prepared by nonreactive magnetron sputtering from a single segmented target

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F19%3A00517506" target="_blank" >RIV/68378271:_____/19:00517506 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.07.077" target="_blank" >https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.07.077</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.07.077" target="_blank" >10.1016/j.surfcoat.2019.07.077</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

On the origin of multilayered structure of W-B-C coating prepared by nonreactive magnetron sputtering from a single segmented target

Popis výsledku v původním jazyce

This study describes a multilayered structure of W-B-C coatings deposited by non-reactive sputtering of a single target chemical composition of a coating and its deposition rate are very sensitive to the substrate position in the chambre, due to different transport pathways of heavy (W) and light (C and B) atoms sputtered from the same target, but differently scattered by the working argon gas.

Název v anglickém jazyce

On the origin of multilayered structure of W-B-C coating prepared by nonreactive magnetron sputtering from a single segmented target

Popis výsledku anglicky

This study describes a multilayered structure of W-B-C coatings deposited by non-reactive sputtering of a single target chemical composition of a coating and its deposition rate are very sensitive to the substrate position in the chambre, due to different transport pathways of heavy (W) and light (C and B) atoms sputtered from the same target, but differently scattered by the working argon gas.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt

—

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2019

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Svazek periodika

377

Číslo periodika v rámci svazku

Nov

Stát vydavatele periodika

CH - Švýcarská konfederace

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

1-9

Kód UT WoS článku

000488417800002

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85071294205