Ion formation in an argon and argon-oxygen gas mixture of a magnetron sputtering discharge
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F19%3A00519384" target="_blank" >RIV/68378271:_____/19:00519384 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/60076658:12310/19:43900245
Výsledek na webu
<a href="http://hdl.handle.net/11104/0304480" target="_blank" >http://hdl.handle.net/11104/0304480</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/2399-6528/ab1e82" target="_blank" >10.1088/2399-6528/ab1e82</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Ion formation in an argon and argon-oxygen gas mixture of a magnetron sputtering discharge
Popis výsledku v původním jazyce
Formation of singly and doubly charged argon and titanium and of molecular ions in a direct current magnetron sputtering discharge with a Ti cathode and argon as working gas was investigated with the help of energy-resolved mass spectrometry. Measured ion energy distributions consist of low-energy and high-energy components resembling different formation processes.
Název v anglickém jazyce
Ion formation in an argon and argon-oxygen gas mixture of a magnetron sputtering discharge
Popis výsledku anglicky
Formation of singly and doubly charged argon and titanium and of molecular ions in a direct current magnetron sputtering discharge with a Ti cathode and argon as working gas was investigated with the help of energy-resolved mass spectrometry. Measured ion energy distributions consist of low-energy and high-energy components resembling different formation processes.
Klasifikace
Druh
J<sub>SC</sub> - Článek v periodiku v databázi SCOPUS
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2019
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of Physics Communications
ISSN
2399-6528
e-ISSN
—
Svazek periodika
3
Číslo periodika v rámci svazku
5
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
9
Strana od-do
1-9
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85078295874