Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F20%3A00537050" target="_blank" >RIV/68378271:_____/20:00537050 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/00216224:14310/20:00114917
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů
Popis výsledku v původním jazyce
V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů. Změřené parametry plazmatu prokázali, že zařízení je schopné zdvojnásobit depoziční rychlosti při zachování ionizačního stupně rozprášených částic.
Název v anglickém jazyce
Device for deposition rate increase in HiPIMS using pulse packages
Popis výsledku anglicky
As a part of the TAČR project, we have developed a device for deposition rate increase in HiPIMS using pulse packages. The measured plasma parameters showed that the device is capable to double the deposition rate while the ionization fraction of sputtered species remain the same.

Projekt
<a href="/cs/project/TN01000038" target="_blank" >TN01000038: Národní centrum kompetence pro materiály, pokročilé technologie, povlakování a jejich aplikace</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění
2020
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
FVNCK1/FZU/2020
Číselná identifikace
FVNCK1/FZU/2020
Technické parametry
Délka pulzu: 30 μs, vzdálenost mezi pulzy v balíčku: 20 μs, střída: 5 %, počet pulzů:4, pracovní tlak v reaktoru: 1 Pa
Ekonomické parametry
Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68378271
Název vlastníka
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. - Masarykova univerzita
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)