Effect of oxygen defects on microstructure, optical and vibrational properties of ScN films deposited on MgO substrate from experiment and first principles

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F23%3A00569725" target="_blank" >RIV/68378271:_____/23:00569725 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/61989100:27640/23:10251492 RIV/61989100:27740/23:10251492

Výsledek na webu

<a href="https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.156203" target="_blank" >https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.156203</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.156203" target="_blank" >10.1016/j.apsusc.2022.156203</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Effect of oxygen defects on microstructure, optical and vibrational properties of ScN films deposited on MgO substrate from experiment and first principles

Popis výsledku v původním jazyce

We report on the effects of oxygen impurities on the microstructure, surface morphology, optical absorption, and vibrational properties of scandium nitride thin films deposited onto magnesium oxide substrate by reactive magnetron sputtering and under ultrahigh vacuum conditions. Two distinct deposition temperatures of 700 ◦C and 800 ◦C were applied to adjust the level of oxygen contamination. The ScN/MgO(001) thin films have been characterized by various spectroscopic methods, including X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy, atomic force microscopy, Raman spectroscopy, and optical microscopy.

Název v anglickém jazyce

Effect of oxygen defects on microstructure, optical and vibrational properties of ScN films deposited on MgO substrate from experiment and first principles

Popis výsledku anglicky

We report on the effects of oxygen impurities on the microstructure, surface morphology, optical absorption, and vibrational properties of scandium nitride thin films deposited onto magnesium oxide substrate by reactive magnetron sputtering and under ultrahigh vacuum conditions. Two distinct deposition temperatures of 700 ◦C and 800 ◦C were applied to adjust the level of oxygen contamination. The ScN/MgO(001) thin films have been characterized by various spectroscopic methods, including X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy, atomic force microscopy, Raman spectroscopy, and optical microscopy.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt

<a href="/cs/project/EF16_013%2F0001791" target="_blank" >EF16_013/0001791: IT4Innovations národní superpočítačové centrum - cesta k exascale</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2023

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Applied Surface Science

ISSN

0169-4332

e-ISSN

1873-5584

Svazek periodika

615

Číslo periodika v rámci svazku

Apr.

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

10

Strana od-do

156203

Kód UT WoS článku

000925135100001

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85146254091