Optická sestava pro generování kvalitního svazku páté harmonické frekvence (206 nm) výkonového femtosekundového Yb:YAG laseru

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F25%3A00644960" target="_blank" >RIV/68378271:_____/25:00644960 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Optická sestava pro generování kvalitního svazku páté harmonické frekvence (206 nm) výkonového femtosekundového Yb:YAG laseru

Popis výsledku v původním jazyce

Výkonné pikosekundové laserové pulzy se využívají pro opracování materiálu, jakým je např. tvorba mikrostruktur na povrchu polovodičů. Zvýšení účinnosti, či změny parametrů mikrostruktur (např. jejich periody, hloubky a ostrosti okrajů) lze dosáhnout použitím jiné vlnové délky laserového záření. Byl navržen systém pro změnu vlnové délky výkonného laserového systému s aktivním prostředím z materiálu Yb:YAG, který určuje vlnovou délku základní harmonické na 1030 nm. V opticky nelineárních krystalech je generován svazek druhé a potom čtvrté harmonické frekvence. Součtem frekvencí svazku čtvrté harmonické a svazku základního vznikne v dalším krystalu pátá harmonická. Systém umožňuje plynulou regulaci energie výstupních pulzů.

Název v anglickém jazyce

High beam quality 5th harmonic frequency (206 nm) conversion system for Yb:YAG high power femtosecond laser

Popis výsledku anglicky

High-power picosecond laser pulses are used for material processing, such as the formation of microstructures on the surface of semiconductors. Increasing efficiency or changing the parameters of microstructures (e.g. their period, depth and edge sharpness) can be achieved by using a different wavelength of laser radiation. A system for changing the wavelength of a powerful laser system with an active medium made of Yb:YAG material has been designed, which sets the wavelength of the fundamental harmonic to 1030 nm. In optically nonlinear crystals, the beams of the second and then the fourth harmonic frequencies are generated. The sum of the frequencies of the fourth harmonic and the fundamental beam creates the fifth harmonic in a following crystal. The system allows for continuous regulation of the output power of the fifth harmonic pulses.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2025

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

TN02000020 //003-V02

Číselná identifikace

TN02000020 //003-V02

Technické parametry

V opticky nelineárních krystalech je generován svazek druhé, čtvrté a páté harmonické frekvence výkonového Yb:YAG laseru. Je generován pulzní laserový svazek o vlnové délce 206 nm a výkonu 1.5 W.

Ekonomické parametry

Přidání 5. harmonické na vlnové délce 206 nm rozšiřuje aplikační potenciál Yb:YAG laserového systému a zvyšuje množství potenciálních zakázek na přesné opracování materiálu pomocí laseru.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

68378271

Název vlastníka

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—