Zařízení pro měření hustoty iontového proudu v průřezu iontového svazku
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21220%2F08%3A00160433" target="_blank" >RIV/68407700:21220/08:00160433 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Zařízení pro měření hustoty iontového proudu v průřezu iontového svazku
Popis výsledku v původním jazyce
Zařízení pro měření hustoty iontového proudu v průřezu iontového svazku bylo vyvinuto a zkonstruováno pro kalibraci a monitorování iontové implantace. Hustota iontového proudu je měřena Faradayovou komůrkou, která je posouvána mechanickým skenerem v průřezu iontového svazku. Faradayova komůrka zabezpečuje měření iontového proudu bez ovlivnění sekundární elektronovou emisí. Mechanický skener je řízen počítačem. Program je sestaven tak, že umožňuje nastavit kroky a rychlost posuvu.
Název v anglickém jazyce
Equipment for measurement of ion current density across ion beam
Popis výsledku anglicky
Equipment for measurement of ion current density across ion beam was developped and constructed for calibration and monitoring of ion implantation. Ion current density is measured by Faraday cup, which is translated by mechanical scanner in the ion beamcross section. Faraday cup measures the ion current without influence of secondary electron emission. Mechanical scanner is controlled by computer. The steps and velocity of the translation are possible to vary.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
12102 - P04 - 2008 - 12
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Měření hustoty iontového proudu v průřezu iontového svazku
Ekonomické parametry
80 000 Kč
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68407700
Název vlastníka
České vysoké učení technické v Praze, Fakulta strojní
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—