Miniature Silicon Transducer with a Non-planar Back Plate

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F03%3A03086205" target="_blank" >RIV/68407700:21230/03:03086205 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Miniature Silicon Transducer with a Non-planar Back Plate

Popis výsledku v původním jazyce

The electroacoustic electrostatic transducer as a sensor is usually formed by a thin circular or, in the case of silicon sensors, square membrane or plate and a planar back electrode with holes. The diaphragm displacement distribution of a thin circularmembrane in fundamental symmetrical mode (and below it) is approximately parabolic and only the central area of the diaphragm produces the main contribution to the capacitance changes. For this reason it is possible to make the back plate shape also, forexample parabolic (paraboloid of nth order), simultaneously preserve the sensitivity of the transducer and modify the acoustical impedance of the air-gap and thus the damping of the diaphragm.

Název v anglickém jazyce

Miniature Silicon Transducer with a Non-planar Back Plate

Popis výsledku anglicky

The electroacoustic electrostatic transducer as a sensor is usually formed by a thin circular or, in the case of silicon sensors, square membrane or plate and a planar back electrode with holes. The diaphragm displacement distribution of a thin circularmembrane in fundamental symmetrical mode (and below it) is approximately parabolic and only the central area of the diaphragm produces the main contribution to the capacitance changes. For this reason it is possible to make the back plate shape also, forexample parabolic (paraboloid of nth order), simultaneously preserve the sensitivity of the transducer and modify the acoustical impedance of the air-gap and thus the damping of the diaphragm.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA102%2F00%2F1661" target="_blank" >GA102/00/1661: Elektroakustické měniče s elektrickým polem</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of Workshop 2003

ISBN

80-01-02708-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

422-423

Název nakladatele

ČVUT

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Praha

Datum konání akce

10. 2. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—