Realizace miniaturních křemíkových mikrofonů

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F03%3A03089478" target="_blank" >RIV/68407700:21230/03:03089478 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Realizace miniaturních křemíkových mikrofonů

Popis výsledku v původním jazyce

The contribution deals with realization of two types of miniature silicon microphones using micromechanical technologies. Microphones consist of the square silicon diaphragm and planar square back electrode or non-planar circular back electrode respectively. The equivalent circuit of both types is derived, the process of realization is described and the results are shown.

Název v anglickém jazyce

Realization of Miniature Silicon Microphones

Popis výsledku anglicky

The contribution deals with realization of two types of miniature silicon microphones using micromechanical technologies. Microphones consist of the square silicon diaphragm and planar square back electrode or non-planar circular back electrode respectively. The equivalent circuit of both types is derived, the process of realization is described and the results are shown.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Audio Technologies and Processing 2003

ISBN

80-214-2391-9

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

37-44

Název nakladatele

Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Praha

Datum konání akce

28. 5. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—