The Effect of Ion Milling on the Parameters of Copper Contacts
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F06%3A00120432" target="_blank" >RIV/68407700:21230/06:00120432 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
The Effect of Ion Milling on the Parameters of Copper Contacts
Popis výsledku v původním jazyce
PtSi, Al and Cu contacts were optimized on minimal contact resistance using ion milling.
Název v anglickém jazyce
The Effect of Ion Milling on the Parameters of Copper Contacts
Popis výsledku anglicky
PtSi, Al and Cu contacts were optimized on minimal contact resistance using ion milling.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2006
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
ISPS 06 Proceedings
ISBN
80-01-03524-7
ISSN
1751-858X
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
—
Název nakladatele
Ediční středisko ČVUT
Místo vydání
Praha
Místo konání akce
Praha
Datum konání akce
29. 8. 2006
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—