Design and Modeling of Micromechanical GaAs based Hot Plate for Gas Sensors

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F07%3A03137126" target="_blank" >RIV/68407700:21230/07:03137126 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Design and Modeling of Micromechanical GaAs based Hot Plate for Gas Sensors
Popis výsledku v původním jazyce
This paper discusses design, simulation and fabrication of new Micromachined Thermal Converters (MTCs) based on GaAs developed for Gas sensors. Metal oxide gas sensors generally work in high temperature mode that is required for chemical reactions to beperformed between molecules of the specified gas and the surface of sensing material. There is a low power consumption required to obtain the operation temperatures in the range of 200 to 500 oC.
Název v anglickém jazyce
Design and Modeling of Micromechanical GaAs based Hot Plate for Gas Sensors
Popis výsledku anglicky
This paper discusses design, simulation and fabrication of new Micromachined Thermal Converters (MTCs) based on GaAs developed for Gas sensors. Metal oxide gas sensors generally work in high temperature mode that is required for chemical reactions to beperformed between molecules of the specified gas and the surface of sensing material. There is a low power consumption required to obtain the operation temperatures in the range of 200 to 500 oC.

Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)