Návrh a charakterizace MEMS teplotního převodníku

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F07%3A03137185" target="_blank" >RIV/68407700:21230/07:03137185 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Design and Characterization of MEMS Thermal Converter
Popis výsledku v původním jazyce
This paper presents design and characterization of a new GaAs based RF Microwave Power Sensor (RFMPS) microsystem. The main criteria for the RFMPS optimization are to keep the stable thermal distribution and minimize the thermal stress. The concept of absorbed power measurement is based on thermal conversion, where absorbed RF power is transformed into thermal power, inside a thermally isolated system.
Název v anglickém jazyce
Design and Characterization of MEMS Thermal Converter
Popis výsledku anglicky
This paper presents design and characterization of a new GaAs based RF Microwave Power Sensor (RFMPS) microsystem. The main criteria for the RFMPS optimization are to keep the stable thermal distribution and minimize the thermal stress. The concept of absorbed power measurement is based on thermal conversion, where absorbed RF power is transformed into thermal power, inside a thermally isolated system.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F06%2F1624" target="_blank" >GA102/06/1624: Mikro a nano senzorové struktury a systémy se zabudovanou inteligencí (MINASES)</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)