Zařízení pro bezkontaktní měření tloušťky tenkých vodivých vrstev

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F08%3A03146579" target="_blank" >RIV/68407700:21230/08:03146579 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Zařízení pro bezkontaktní měření tloušťky tenkých vodivých vrstev

Popis výsledku v původním jazyce

Zařízení pro měření tloušťky vrstvy pomocí vyhodnocení impedance vázané indukční cívky.

Název v anglickém jazyce

Contactless Measurement of Thin Film Thickness

Popis výsledku anglicky

Thin film thickness measurement using the change of complex coil impedance is a non-contact method for conductive film thickness measurement.

Druh

F_uzit - Užitný vzor

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Číslo patentu nebo vzoru

18976

Vydavatel

—

Název vydavatele

—

Místo vydání

—

Stát vydání

—

Datum přijetí

—

Název vlastníka

ČVUT FEL

Způsob využití

A - Výsledek využívá pouze poskytovatel

Druh možnosti využití

N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)