Návrh a výroba SOI tenzometrů pro vysokoteplotní aplikace

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F08%3A03147706" target="_blank" >RIV/68407700:21230/08:03147706 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/00216224:14310/08:00038454
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Design and Fabrication of High-Temperature SOI Strain-Gauges
Popis výsledku v původním jazyce
The following paper introduces the CoventorWare design environment for SOI based piezoresistive sensor design. Fabrication process and characterization of designed sensors is also presented. The software package CoventorWare has been used for design of mechanical and electrical characteristics of the structure. The tools enable design, modelling and successive modification of designed MEMS structures.
Název v anglickém jazyce
Design and Fabrication of High-Temperature SOI Strain-Gauges
Popis výsledku anglicky
The following paper introduces the CoventorWare design environment for SOI based piezoresistive sensor design. Fabrication process and characterization of designed sensors is also presented. The software package CoventorWare has been used for design of mechanical and electrical characteristics of the structure. The tools enable design, modelling and successive modification of designed MEMS structures.

Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)