MEMS a mikrosystémové technologie
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F08%3A03151246" target="_blank" >RIV/68407700:21230/08:03151246 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
MEMS a mikrosystémové technologie
Popis výsledku v původním jazyce
Článek seznamuje s pojmem MEMS od obecných ke konkrétním definicím a zařazení, MEMS jako součást pojmu mikrosystém. MEMS vzniká propojením oborů elektronika a mechanika s využitím mikrominiaturizace a podpory výroby mikrosystémovými technologiemi v rozměrech mikrometrů. Pro realizaci MEMS se využívají různé technologické postupy. Jsou ukázány některé typické technologie pro výrobu MEMS. Jedná e zejména o povrchové a objemové mikroobrábění, technologie HEXSIL, HARPSS, LIGA a další. Jsou uvedeny typické příklady realizovaných MEMS.
Název v anglickém jazyce
MEMS and microsystem technologies
Popis výsledku anglicky
The paper gives information about the MEMS concept. The information flow is shown from the common definition to the particular one. MEMS are described as a part of microsystems. MEMS represent the merger of electronics as with the mechanics. Microminiaturisation as well as a support of different microsystem technologies are used for MEMS production. The micron size is typical for MEMS. Different technology procedures are used for MEMS realisation. Some typical technologies are shown in the paper, like HEXSIL, HARPSS, LIGA etc. Typical MEMS examples are shown in the paper.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F06%2F1624" target="_blank" >GA102/06/1624: Mikro a nano senzorové struktury a systémy se zabudovanou inteligencí (MINASES)</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Automa
ISSN
1210-9592
e-ISSN
—
Svazek periodika
14
Číslo periodika v rámci svazku
11
Stát vydavatele periodika
CZ - Česká republika
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—