Výroba SOI tenzometrů pro vysokoteplotní aplikace
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F09%3A00159930" target="_blank" >RIV/68407700:21230/09:00159930 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Výroba SOI tenzometrů pro vysokoteplotní aplikace
Popis výsledku v původním jazyce
V současné době se kladou stále větší nároky na elektroniku pro přístrojové a řídící systémy, kdy jedním z požadavků je také provozuschopnost při vyšších teplotách. Elektronické prvky schopné pracovat při teplotách vyšších než 200 °C jsou potřeba zejménav průmyslových aplikacích, např. v řízení a diagnostice turbínových generátorů v elektrárnách. Technologie SOI (Silicon-on-Insulator) je vhodná pro realizaci elektronických prvků a senzorů nejen pro vysokoteplotní, ale i RF (Radio Frequency) aplikace. Tento článek představuje proces výroby a charakterizace piezorezistivních senzorů deformace (tenzometrů) v SOI technologii pro průmyslové aplikace.
Název v anglickém jazyce
Fabrication of SOI Strain-gauges for High-Temperature Applications
Popis výsledku anglicky
V současné době se kladou stále větší nároky na elektroniku pro přístrojové a řídící systémy, kdy jedním z požadavků je také provozuschopnost při vyšších teplotách. Elektronické prvky schopné pracovat při teplotách vyšších než 200 °C jsou potřeba zejménav průmyslových aplikacích, např. v řízení a diagnostice turbínových generátorů v elektrárnách. Technologie SOI (Silicon-on-Insulator) je vhodná pro realizaci elektronických prvků a senzorů nejen pro vysokoteplotní, ale i RF (Radio Frequency) aplikace. Tento článek představuje proces výroby a charakterizace piezorezistivních senzorů deformace (tenzometrů) v SOI technologii pro průmyslové aplikace.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F09%2F1601" target="_blank" >GA102/09/1601: Inteligentní mikro a nano struktury pro mikrosenzory realizované s využitím nanotechnologií</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2009
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Slaboproudý obzor
ISSN
0037-668X
e-ISSN
—
Svazek periodika
65
Číslo periodika v rámci svazku
3
Stát vydavatele periodika
CZ - Česká republika
Počet stran výsledku
3
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—