Technologie výroby senzoru plynů s diamantovými vrstvami

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F15%3A00234351" target="_blank" >RIV/68407700:21230/15:00234351 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://micro.fel.cvut.cz/mak/" target="_blank" >http://micro.fel.cvut.cz/mak/</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Technologie výroby senzoru plynů s diamantovými vrstvami
Popis výsledku v původním jazyce
Byl ověřen technologický postup výroby rezonančního senzoru plynů na principu křemenných mikrovah (QCM) a vodivostního senzoru s interdigitálními elektrodami. Jednotlivé typy senzorů byly realizovány s několika typy citlivých vrstev na bázi diamantu v různých formách (diamantový prášek, CVD diamant), uhlíkových nanotrubek vyrobených laserovou ablací či nakapáváním a grafitových nanostruktur (nanosheets).Senzory detekují nebezpečné plyny jako nízké koncentrace amoniaku, těkavých látek (VOC).
Název v anglickém jazyce
Technology for Fabrication of Gas Sensors with Diamond Layers
Popis výsledku anglicky
Technology process for fabrication of Gas Sensors with Diamond Layers was verified by realization both resonant gas sensor based on quartz microbalance (QCM) and conductive sensor with interdigital electrodes. The sensors were realized with different sensitive layer based on diamond/carbon in different forms (powder, CVD diamond, CNT, graphitte). Sensors detects low concentrations of dangerous gasses as amonia and volatile organic compunds (VOC)

Projekt
<a href="/cs/project/VG20102015015" target="_blank" >VG20102015015: Miniaturní inteligentní analyzační systém koncentrací plynů a škodlivých látek, zejména toxických</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
2015_13134_Ztech_GasDiaSen
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Rezonanční senzory byly realizovány na křemenném substrátu (tloušťka 170 um, průměr 14mm), AT řez, základní rezonanční frekvence 10MHz. Vodivostní senzory byly realizovány na korundovém/sleněném/křemíkovém substrátu s interdigitálními elektrodami o minimálním rozměru 15um. Diamantové citlivé vrstvy byly realizovány fotolitografickým a CVD procesem
Ekonomické parametry
odhad ceny technologie 100000Kč, uživatelem výsledku je České vysoké učení technické v Praze IČ 68407700, nový postup ve výrobě a charakterizaci aplikací s diamantovými vrstvami oproti standardně používaným postupům
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68407700
Název vlastníka
České vysoké učení technické v Praze, Fakulta elektrotechnická
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
http://micro.fel.cvut.cz/mak/

Podobné výsledky(10)