Employing model based failure mode and effect analysis for sputtering process

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F16%3A00303283" target="_blank" >RIV/68407700:21230/16:00303283 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://ieeexplore.ieee.org/document/7563206/" target="_blank" >http://ieeexplore.ieee.org/document/7563206/</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1109/ISSE.2016.7563206" target="_blank" >10.1109/ISSE.2016.7563206</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Employing model based failure mode and effect analysis for sputtering process

Popis výsledku v původním jazyce

This contribution introduces Failure Mode and Effect Analysis (FMEA) method applied to sputtering process. A model based paradigm is used for executing the FMEA method. The Authors employ this approach for increasing its efficiency and productivity. This work builds on the achievements resulting from the previous works concerning applying the Model Based FMEA method for the technological processes and products. In this article we present a knowledge model of sputtering process as well as meta-model of process generally. Finally, the report of potential defects, causes, consequences and provisions for investigating sputtering process in the FMEA sheet form is presented.

Název v anglickém jazyce

Employing model based failure mode and effect analysis for sputtering process

Popis výsledku anglicky

This contribution introduces Failure Mode and Effect Analysis (FMEA) method applied to sputtering process. A model based paradigm is used for executing the FMEA method. The Authors employ this approach for increasing its efficiency and productivity. This work builds on the achievements resulting from the previous works concerning applying the Model Based FMEA method for the technological processes and products. In this article we present a knowledge model of sputtering process as well as meta-model of process generally. Finally, the report of potential defects, causes, consequences and provisions for investigating sputtering process in the FMEA sheet form is presented.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2016

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the International Spring Seminar on Electronics Technology

ISBN

978-1-5090-1390-6

ISSN

2161-2528

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

285-289

Název nakladatele

IEEE Press

Místo vydání

New York

Místo konání akce

Plzeň

Datum konání akce

18. 5. 2016

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000387089800057