Zušlechťování mandrelů pro výroby RTG optik metodami vysokofrekvenčního odprašování a opracovávání iontovým svazkem
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F18%3A00316932" target="_blank" >RIV/68407700:21230/18:00316932 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Zušlechťování mandrelů pro výroby RTG optik metodami vysokofrekvenčního odprašování a opracovávání iontovým svazkem
Popis výsledku v původním jazyce
Tento článek se zabývá možnostmi úpravy povrchu mandrelů pro výrobu rentgenové optiky metodou galvanické replikace. Při výrobě této optiky je zcela zásadním parametrem mikrodrsnost, určující kvalitu a efektivitu odrazu dopadajícího záření. Zabývali jsme se testováním a porovnáním dvou způsobů zušlechťování povrchu mandrelů. Byla použita technika čištění vysokofrekvenčním plasmatem a opracování iontovým svazkem. Kvalita výsledných povrchů byla vyhodnocována pomocí měření mikroskopie atomárních sil (AFM) a na RTG reflektometru.
Název v anglickém jazyce
Refining mandrel for preparing X-ray optics using the high-frequency sputtering methods and ion beam threating
Popis výsledku anglicky
In this paper are described possibilities how to ennoble the surface of mandrels. These mandrels are designed for preparing X-ray optics using the galvanic replication method. The crucial parameter for this method is the microroughness of the optical surface, because it determines the efficiency of reflection in considered energy range. There were tested two methods how to improve the surface - cleaning by high frequency plasma and threating by an ion beam. The quality of prepared surface was evaluated using atomic force microscopy (AFM) and X-ray reflectometer.
Klasifikace
Druh
J<sub>ost</sub> - Ostatní články v recenzovaných periodicích
CEP obor
—
OECD FORD obor
20506 - Coating and films
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2018
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Jemná mechanika a optika
ISSN
0447-6441
e-ISSN
—
Svazek periodika
63
Číslo periodika v rámci svazku
1
Stát vydavatele periodika
CZ - Česká republika
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
17-18
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—