In-situ Raman spectroscopy characterization of SU-8 epoxy resin temperature dependent curing process

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F19%3A00334118" target="_blank" >RIV/68407700:21230/19:00334118 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://hdl.handle.net/10467/87115" target="_blank" >http://hdl.handle.net/10467/87115</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

In-situ Raman spectroscopy characterization of SU-8 epoxy resin temperature dependent curing process

Popis výsledku v původním jazyce

The SU-8 is commonly used epoxy-based photoresist in manufacturing microfluidics and microelectromechanical systems (MEMS). In this paper, we investigated temperature dependent polymerization process of SU-8 by means of Raman spectroscopy. The Raman spectrum were recorded in-situ during the heating of the sample from 25 to 160 degrees of Celsius. From the collected spectrum we can observe increase in the intensity of 1183 cm-1 and 1108 cm-1 peaks corresponding to the asymmetric vibrations of C-O-C bond in polymer and decrease in the intensity of 930 cm-1 peak attributed to symmetric vibration of C-O-C bond in the polymer.

Název v anglickém jazyce

In-situ Raman spectroscopy characterization of SU-8 epoxy resin temperature dependent curing process

Popis výsledku anglicky

The SU-8 is commonly used epoxy-based photoresist in manufacturing microfluidics and microelectromechanical systems (MEMS). In this paper, we investigated temperature dependent polymerization process of SU-8 by means of Raman spectroscopy. The Raman spectrum were recorded in-situ during the heating of the sample from 25 to 160 degrees of Celsius. From the collected spectrum we can observe increase in the intensity of 1183 cm-1 and 1108 cm-1 peaks corresponding to the asymmetric vibrations of C-O-C bond in polymer and decrease in the intensity of 930 cm-1 peak attributed to symmetric vibration of C-O-C bond in the polymer.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

20501 - Materials engineering

Projekt

<a href="/cs/project/EF16_019%2F0000778" target="_blank" >EF16_019/0000778: Centrum pokročilých aplikovaných přírodních věd</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2019

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the International Student Scientific Conference Poster – 23/2019

ISBN

978-80-01-06581-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

3

Strana od-do

1-3

Název nakladatele

ČVUT FEL, Středisko vědecko-technických informací

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

ČVUT FEL, Technická 2, Praha 6

Datum konání akce

23. 5. 2019

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—