Epoxy polymer optical waveguide for micro-opto-electro-mechanical systems
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F20%3A00341831" target="_blank" >RIV/68407700:21230/20:00341831 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://doi.org/10.1007/s00542-020-04921-7" target="_blank" >https://doi.org/10.1007/s00542-020-04921-7</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1007/s00542-020-04921-7" target="_blank" >10.1007/s00542-020-04921-7</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Epoxy polymer optical waveguide for micro-opto-electro-mechanical systems
Popis výsledku v původním jazyce
The paper reports on the fabrication and characterisation of E3135 epoxy polymer planar waveguides fabricated onto allyl diglycol carbonate substrate. We measured transmission spectra from the visible to near-infrared region and studied waveguiding properties by the m-line spectroscopy using six lasers (532.0, 654.2, 846.4, 1308.2, 1549.1 and 1652.1 nm). Optical scattering losses of the planar waveguides were measured by the fibre scanning method. The lowest values of the optical losses were 0.33 dB/cm at 632.8 nm and 0.35 dB/cm at 850 nm. Our research showed that the epoxy polymer E3135 is a promising material for the implementation into the MOEMS structures with higher integration density, thus it allows for realisation low-cost and feasibly elaborated MOEMS components.
Název v anglickém jazyce
Epoxy polymer optical waveguide for micro-opto-electro-mechanical systems
Popis výsledku anglicky
The paper reports on the fabrication and characterisation of E3135 epoxy polymer planar waveguides fabricated onto allyl diglycol carbonate substrate. We measured transmission spectra from the visible to near-infrared region and studied waveguiding properties by the m-line spectroscopy using six lasers (532.0, 654.2, 846.4, 1308.2, 1549.1 and 1652.1 nm). Optical scattering losses of the planar waveguides were measured by the fibre scanning method. The lowest values of the optical losses were 0.33 dB/cm at 632.8 nm and 0.35 dB/cm at 850 nm. Our research showed that the epoxy polymer E3135 is a promising material for the implementation into the MOEMS structures with higher integration density, thus it allows for realisation low-cost and feasibly elaborated MOEMS components.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
20501 - Materials engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2020
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Microsystem Technologies
ISSN
0946-7076
e-ISSN
1432-1858
Svazek periodika
26
Číslo periodika v rámci svazku
9
Stát vydavatele periodika
DE - Spolková republika Německo
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
3029-3035
Kód UT WoS článku
000539170800001
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85086169827