Není k dispozici

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F06%3A04123155" target="_blank" >RIV/68407700:21340/06:04123155 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Multi-Foil Optic Condenser for a Laser Plasma EUV Source

Popis výsledku v původním jazyce

Design and development of the multi-foil optic (MFO) condenser for a gas puff laser plasma source for EUV lithography is presented. The MFO in general is a soft x-ray optic which consists of two perpendicular sets of very thin reflecting surfaces, wherephotons are reflected at grazing angles. The aim of the work was to design the condenser working for ~100 eV photons focusing from point to point ~40 cm distant. Initial design and simulations are described and compared to early experiments performed invisible light. The performance of the optic over the initial requirements is discussed. We also briefly discuss several other MFO modifications, including condensers and collimators for laboratory purposes or the wide field x-ray scanning modules for satellite astronomy.

Název v anglickém jazyce

Multi-Foil Optic Condenser for a Laser Plasma EUV Source

Popis výsledku anglicky

Design and development of the multi-foil optic (MFO) condenser for a gas puff laser plasma source for EUV lithography is presented. The MFO in general is a soft x-ray optic which consists of two perpendicular sets of very thin reflecting surfaces, wherephotons are reflected at grazing angles. The aim of the work was to design the condenser working for ~100 eV photons focusing from point to point ~40 cm distant. Initial design and simulations are described and compared to early experiments performed invisible light. The performance of the optic over the initial requirements is discussed. We also briefly discuss several other MFO modifications, including condensers and collimators for laboratory purposes or the wide field x-ray scanning modules for satellite astronomy.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Physica Scripta

ISSN

0031-8949

e-ISSN

—

Svazek periodika

2006

Číslo periodika v rámci svazku

T123

Stát vydavatele periodika

SE - Švédské království

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

131-134

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—