Optická emisní spektroskopie bariérového pochodňového výboje

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F07%3A04138931" target="_blank" >RIV/68407700:21340/07:04138931 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical Emission Spectrocopy of the Barrier Torch Discharge

Popis výsledku v původním jazyce

Barrier torch discharge at atmospheric pressure is a relatively new plasma deposition system capable of working at atmospheric pressure in the open air. Barrier torch discharge is used for deposition of ZnO and TiO2 layers. In this paper we present the qualitative analysis of the emission spectra of the barrier torch discharge during deposition. The first results of spectroscopic measurements of Balme Hbeta line width aimed at estimating the electron density in plasma jet at atmospheric pressure are presented as well. Electron concentration was estimated at special conditions (DC plasma jet with Ar as working gas).

Název v anglickém jazyce

Optical Emission Spectrocopy of the Barrier Torch Discharge

Popis výsledku anglicky

Barrier torch discharge at atmospheric pressure is a relatively new plasma deposition system capable of working at atmospheric pressure in the open air. Barrier torch discharge is used for deposition of ZnO and TiO2 layers. In this paper we present the qualitative analysis of the emission spectra of the barrier torch discharge during deposition. The first results of spectroscopic measurements of Balme Hbeta line width aimed at estimating the electron density in plasma jet at atmospheric pressure are presented as well. Electron concentration was estimated at special conditions (DC plasma jet with Ar as working gas).

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases

ISBN

978-80-87026-01-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

1090-1093

Název nakladatele

Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v.v.i

Místo vydání

Praha 8

Místo konání akce

Praha

Datum konání akce

15. 7. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—