Zero-phonon-line pumped 100-kHz Yb:YAG thin disk regenerative amplifier

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F14%3A00367413" target="_blank" >RIV/68407700:21340/14:00367413 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://doi.org/10.1117/12.2040227" target="_blank" >https://doi.org/10.1117/12.2040227</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2040227" target="_blank" >10.1117/12.2040227</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Zero-phonon-line pumped 100-kHz Yb:YAG thin disk regenerative amplifier

Popis výsledku v původním jazyce

We are developing 100-kHz picosecond Yb:YAG thin disk regenerative amplifier with 500-W average power for medical and industrial applications. Especially in case of the next generation of semiconductor lithography, high average power solid-state laser with picosecond pulse duration as pre pulse source is a key element to realize 1-kW EUV lithography source. We compared the output characteristics of CW laser operation pumped at 940-nm and 969-nm, and measured the surface temperature of thin disk. We found that the surface temperature of thin disk pumped at 960-nm was much lower than that pumped at 940-nm. We obtained 83-W output from thin disk regenerative amplifier at the repetition rate of 100-kHz pumped at 969-nm. The measured pulse duration was 1.9-ps.

Název v anglickém jazyce

Zero-phonon-line pumped 100-kHz Yb:YAG thin disk regenerative amplifier

Popis výsledku anglicky

We are developing 100-kHz picosecond Yb:YAG thin disk regenerative amplifier with 500-W average power for medical and industrial applications. Especially in case of the next generation of semiconductor lithography, high average power solid-state laser with picosecond pulse duration as pre pulse source is a key element to realize 1-kW EUV lithography source. We compared the output characteristics of CW laser operation pumped at 940-nm and 969-nm, and measured the surface temperature of thin disk. We found that the surface temperature of thin disk pumped at 960-nm was much lower than that pumped at 940-nm. We obtained 83-W output from thin disk regenerative amplifier at the repetition rate of 100-kHz pumped at 969-nm. The measured pulse duration was 1.9-ps.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

—

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2014

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proc. SPIE 8959, Solid State Lasers XXIII: Technology and Devices

ISBN

978-0-8194-9872-4

ISSN

0277-786X

e-ISSN

1996-756X

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

—

Název nakladatele

SPIE

Místo vydání

Bellingham (stát Washington)

Místo konání akce

San Francisco, CA

Datum konání akce

7. 2. 2014

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000335902300063