Characterization of Sputter-Deposited NiTi Thin Film by Nanoindentation

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F15%3A00235441" target="_blank" >RIV/68407700:21340/15:00235441 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.662.87" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.662.87</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.662.87" target="_blank" >10.4028/www.scientific.net/KEM.662.87</a>

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Characterization of Sputter-Deposited NiTi Thin Film by Nanoindentation
Popis výsledku v původním jazyce
NiTi shape memory alloy thin film sputter-deposited on a large scale silicon wafer was characterized by means of instrumented (depth-sensing) indentation technique. Thickness of deposited thin film was measured by calotest device. Microstructure of thinfilm was observed using differential interference (Nomarski) contrast. It was shown that the local mechanical properties are different in areas containing different phases (austenite and martensite) according to different deposition conditions (kinetic energy of deposited atoms when impacting the substrate surface).
Název v anglickém jazyce
Characterization of Sputter-Deposited NiTi Thin Film by Nanoindentation
Popis výsledku anglicky
NiTi shape memory alloy thin film sputter-deposited on a large scale silicon wafer was characterized by means of instrumented (depth-sensing) indentation technique. Thickness of deposited thin film was measured by calotest device. Microstructure of thinfilm was observed using differential interference (Nomarski) contrast. It was shown that the local mechanical properties are different in areas containing different phases (austenite and martensite) according to different deposition conditions (kinetic energy of deposited atoms when impacting the substrate surface).

Projekt
<a href="/cs/project/GA14-03044S" target="_blank" >GA14-03044S: Příprava slitin NiTi s tvarovou pamětí reaktivní sintrací</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
Mechanical Properties of Materials from Nano to Micro/Meso-Scale
ISBN
978-3-03835-555-7
ISSN
1013-9826
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
87-90
Název nakladatele
TRANS TECH PUBLICATIONS LTD
Místo vydání
ZURICH
Místo konání akce
Stará Lesná
Datum konání akce
12. 11. 2014
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)