Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

EUV ablation: A study of the process

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F15%3A00241834" target="_blank" >RIV/68407700:21340/15:00241834 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

    <a href="http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=2293876" target="_blank" >http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=2293876</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2178868" target="_blank" >10.1117/12.2178868</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    EUV ablation: A study of the process

  • Popis výsledku v původním jazyce

    An investigation on short-wavelength ablation mechanism of poly(1,4-phenylene ether ether-sulfune) PPEESand poly (1-hexadecene-sulfone) PHDS (Figure 9-10) by EUV radiation is presented. The goal of this work is to evaluate the ablation behavior with respect to the influence of wavelength, fluence and quantum efficiency. Because there is no yet a general EUV ablation theory, data are analyzed in order to underline regularity of the process which can be used in future to detect the scaling laws of the process. The differences with longer wavelengths ablation and EUV one are pointed out and possible applications of EUV ablation are proposed.

  • Název v anglickém jazyce

    EUV ablation: A study of the process

  • Popis výsledku anglicky

    An investigation on short-wavelength ablation mechanism of poly(1,4-phenylene ether ether-sulfune) PPEESand poly (1-hexadecene-sulfone) PHDS (Figure 9-10) by EUV radiation is presented. The goal of this work is to evaluate the ablation behavior with respect to the influence of wavelength, fluence and quantum efficiency. Because there is no yet a general EUV ablation theory, data are analyzed in order to underline regularity of the process which can be used in future to detect the scaling laws of the process. The differences with longer wavelengths ablation and EUV one are pointed out and possible applications of EUV ablation are proposed.

Klasifikace

  • Druh

    D - Stať ve sborníku

  • CEP obor

    JJ - Ostatní materiály

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/LD14032" target="_blank" >LD14032: Pokročilé metody metrologie a zobrazování v rentgenové oblasti záření</a><br>

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2015

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název statě ve sborníku

    EUV and X-Ray Optics: Synergy Between Laboratory and Space IV

  • ISBN

    978-1-62841-631-2

  • ISSN

    0277-786X

  • e-ISSN

  • Počet stran výsledku

    11

  • Strana od-do

    "951011-1"-"951011-11"

  • Název nakladatele

    SPIE

  • Místo vydání

    Bellingham (stát Washington)

  • Místo konání akce

    Praha

  • Datum konání akce

    13. 4. 2015

  • Typ akce podle státní příslušnosti

    EUR - Evropská akce

  • Kód UT WoS článku

    000356859800031