EUV ablation: A study of the process
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F15%3A00241834" target="_blank" >RIV/68407700:21340/15:00241834 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=2293876" target="_blank" >http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=2293876</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2178868" target="_blank" >10.1117/12.2178868</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
EUV ablation: A study of the process
Popis výsledku v původním jazyce
An investigation on short-wavelength ablation mechanism of poly(1,4-phenylene ether ether-sulfune) PPEESand poly (1-hexadecene-sulfone) PHDS (Figure 9-10) by EUV radiation is presented. The goal of this work is to evaluate the ablation behavior with respect to the influence of wavelength, fluence and quantum efficiency. Because there is no yet a general EUV ablation theory, data are analyzed in order to underline regularity of the process which can be used in future to detect the scaling laws of the process. The differences with longer wavelengths ablation and EUV one are pointed out and possible applications of EUV ablation are proposed.
Název v anglickém jazyce
EUV ablation: A study of the process
Popis výsledku anglicky
An investigation on short-wavelength ablation mechanism of poly(1,4-phenylene ether ether-sulfune) PPEESand poly (1-hexadecene-sulfone) PHDS (Figure 9-10) by EUV radiation is presented. The goal of this work is to evaluate the ablation behavior with respect to the influence of wavelength, fluence and quantum efficiency. Because there is no yet a general EUV ablation theory, data are analyzed in order to underline regularity of the process which can be used in future to detect the scaling laws of the process. The differences with longer wavelengths ablation and EUV one are pointed out and possible applications of EUV ablation are proposed.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JJ - Ostatní materiály
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/LD14032" target="_blank" >LD14032: Pokročilé metody metrologie a zobrazování v rentgenové oblasti záření</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
EUV and X-Ray Optics: Synergy Between Laboratory and Space IV
ISBN
978-1-62841-631-2
ISSN
0277-786X
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
11
Strana od-do
"951011-1"-"951011-11"
Název nakladatele
SPIE
Místo vydání
Bellingham (stát Washington)
Místo konání akce
Praha
Datum konání akce
13. 4. 2015
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
000356859800031