Characterization of the high harmonics source for the VUV ellipsometer at ELI Beamlines
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F20%3A00353721" target="_blank" >RIV/68407700:21340/20:00353721 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68378271:_____/20:00538507
Výsledek na webu
<a href="https://doi.org/10.1116/1.5129674" target="_blank" >https://doi.org/10.1116/1.5129674</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1116/1.5129674" target="_blank" >10.1116/1.5129674</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Characterization of the high harmonics source for the VUV ellipsometer at ELI Beamlines
Popis výsledku v původním jazyce
In this paper, the authors present the characterization experiments of a 20fs vacuum ultraviolet beam from a high harmonic generation source. The beam hits a silicon sample and passes a triple reflection gold polarizer located inside an ultrahigh vacuum chamber. The polarizer's Malus curve was obtained; the total acquisition time for each point of the curve was 30s. This aims to be the first vacuum ultraviolet time-resolved user station dedicated to ellipsometry. The high harmonic beam is generated by a 12mJ, 1kHz, 20fs, in-house-developed laser and detected by a back-illuminated charge-coupled device.
Název v anglickém jazyce
Characterization of the high harmonics source for the VUV ellipsometer at ELI Beamlines
Popis výsledku anglicky
In this paper, the authors present the characterization experiments of a 20fs vacuum ultraviolet beam from a high harmonic generation source. The beam hits a silicon sample and passes a triple reflection gold polarizer located inside an ultrahigh vacuum chamber. The polarizer's Malus curve was obtained; the total acquisition time for each point of the curve was 30s. This aims to be the first vacuum ultraviolet time-resolved user station dedicated to ellipsometry. The high harmonic beam is generated by a 12mJ, 1kHz, 20fs, in-house-developed laser and detected by a back-illuminated charge-coupled device.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2020
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of Vacuum Science & Technology B
ISSN
2166-2746
e-ISSN
2166-2754
Svazek periodika
38
Číslo periodika v rámci svazku
2
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000569100800006
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85081098365