Hybridní laser-magnetronová technologie pro vytváření kompozitních uhlíkových vrstev
Popis výsledku
Hybridní laser-magnetronový depoziční systém byl navržen a testován pro studium tenkých vrstev založených na bázy uhlíku. Byly syntetizovány vrstvy TiC, TiNC a SiC. Krystalická TiC vrstva byla vytvořena při pokojové teplotě.
Klíčová slova
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68378271:_____/09:00330295
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Hybrid laser-magnetron technology for carbon composite coating
Popis výsledku v původním jazyce
Hybrid laser- magnetron deposition system was developed and tested for study of carbon based thin film coatings. Various geometrical configurations and deposition conditions were tested. Films of TiC, TiCN, and SiC were synthesized. Films were fabricatedin argon (TiC), in argon/nitrogen (TiCN), or in argon/hydrogen ambient (SiC films). Film properties were studied by SEM, XRD, GDOES, and XPS. Smooth, homogeneous film over the area of 9 cm(2) were prepared. Crystalline TiC films were grown at room substrate temperature.
Název v anglickém jazyce
Hybrid laser-magnetron technology for carbon composite coating
Popis výsledku anglicky
Hybrid laser- magnetron deposition system was developed and tested for study of carbon based thin film coatings. Various geometrical configurations and deposition conditions were tested. Films of TiC, TiCN, and SiC were synthesized. Films were fabricatedin argon (TiC), in argon/nitrogen (TiCN), or in argon/hydrogen ambient (SiC films). Film properties were studied by SEM, XRD, GDOES, and XPS. Smooth, homogeneous film over the area of 9 cm(2) were prepared. Crystalline TiC films were grown at room substrate temperature.
Klasifikace
Druh
Jx - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2009
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Laser Physics
ISSN
1054-660X
e-ISSN
—
Svazek periodika
19
Číslo periodika v rámci svazku
2
Stát vydavatele periodika
RU - Ruská federace
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000263260200001
EID výsledku v databázi Scopus
—
Druh výsledku
Jx - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP
BH - Optika, masery a lasery
Rok uplatnění
2009