Filtry
Výsledek výzkumu
Preionizovany pulzni magnetronovy vyboj pro IPVD
Diagnostika preionizovaneho pulzniho magnetronoveho vyboje...
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
- 2005 •
- Jx
Rok uplatnění
Jx - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
Výsledek výzkumu
Omezení pechodového režimu pi pulzním magnetronovém naprašování
Prezentace stabilního pulzního magnetronového výboje. Pro stabilizicaci depoziního procesu byla použita preionizace.
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
- 2005 •
- Jx
Rok uplatnění
Jx - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
- 1 - 2 z 2