Traceable three-dimensional nanometrology

Poskytovatel

Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy

Program

Evropský metrologický program pro inovace a výzkum

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Český metrologický institut

Druh soutěže

M2 - Mezinárodní spolupráce

Číslo smlouvy

MSMT-21096/2016-7

Název projektu anglicky

Traceable three-dimensional nanometrology

Anotace anglicky

The scientific and technical objectives of this project are to: 1. Reduce the 3D nanomeasurement uncertainty, by means of a bottom up approach, to less than 1 nm for nanodimensional measurands (including line width, height, pitch, and edge/width roughness) on engineered nanostructures and nanoparticles. In addition, to reduce the noise level of metrological AFMs (MAFMs) to 0.1 nm (rms) using a top-down approach, to raise the scanning speed up to 1 mm/s, and to extend the scanning range up to 25 mm/s by further developing the state-of-the-art optical and x-ray interferometry (XRI). 2. Develop reference materials for 3D nanometrology tools including AFM and Scanning Electron Microscopy (SEM). In particular, to realise test structures for characterising the tip geometry in AFMs and the beam size in SEMs and reference standards for width and sidewall roughness measurements. 3. Widen the understanding of probe-sample interactions in AFM and SEM measurements for reducing the measurement uncertainty. In particular, to study the tip-sample interaction force of AFM line width and nanoparticle measurements; to model the image formation of SEM; and to investigate the influence of humidity on AFM measurements. 4. Develop a hybrid metrology for merging measurement results from either different tools (e.g. AFM, SEM, Transmission Electron Microscopy (TEM), Mueller polarimetry and optical scatterometry) or different channels of a single tool. 5. Facilitate the take up of the technology and measurement infrastructure developed by the project by the measurement supply chain (accredited laboratories, instrument manufacturers) and end users (semiconductor industry, precision engineering, optical industry and nanoparticle researchers).

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

FQ - Veřejné zdravotnictví, sociální lékařství

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

—

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Hodnocení výsledků řešení ministerstvo neprovádí, neboť podmínkou podpory je, že uchazeč byl vybrán mezinárodním poskytovatelem v souladu s pravidly příslušného programu. Projekt je hodnocen až po jeho schválení mezinárodním poskytovatelem.

Zahájení řešení

1. 10. 2016

Ukončení řešení

30. 9. 2019

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

12. 2. 2019

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP20-MSM-8B-U/01:1

Datum dodání záznamu

18. 6. 2020

Celkové uznané náklady

4 834 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

2 532 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

2 302 tis. Kč