Vady seřízení elektronově optických systémů
Cíle projektu
Budou studovány vady seřízení elektronově optických systémů, které vznikají v důsledku nepřesností výroby a sestavení elektronově optických prvků a jejich soustav. Tyto nepřesnosti se projevují vznikem dodatečných slabých polí a vznikem vad zobrazení, nazývaných vady seřízení nebo poruchové vady, které omezují správné chování systémů. Struktura těchto vad bude analyzována a jednotlivé vady budou popsány pomocí vhodně vyjádřených koeficientů, které budou vyjádřeny pomocí aberačních integrálů. Alternativně bude vliv vad seřízení určen z přesného trasování nabitých částic neporušeným a porušeným systémem, koeficienty vad obdržíme fitováním a vliv vad bude zobrazen graficky pomocí profilů stopy a aberačních obrazců. Určení vlivu vad seřízení bude implementován jako rozšíření programu EOD, používanému v ústavu pro návrh v elektronové optice. Pro odstranění vlivu vad seřízení se v systémech zavádějí korekční prvky; jejich vliv na zobrazení bude také studován.
Klíčová slova
Veřejná podpora
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
Program
Granty výrazně badatelského charakteru zaměřené na oblast výzkumu rozvíjeného v současné době zejména v AV ČR
Veřejná soutěž
Výzkumné granty 8 (SAV02008-A)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
IAA100650805
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Misalignment aberrations in electron optical systems
Anotace anglicky
Misalignment aberrations of electron optical systems arise due to manufacturing or alignment imperfections of electron optical elements or systems. They give rise to additional small fields and to image aberrations called misalignement errors, which limit correct behavior of electron optical systems. The structure of these errors will be analyzed and individual aberrations will be expressed in terms of aberration coefficients and integrals. The effect of perturbations will also be determined from accurate tracing through perfect and perturbed system, the aberration coefficients will be obtained by fitting and their effect will be displayed graphically by spot profiles and aberration figures. The determination of misalignment fields and aberrations willbe implemented in program EOD, used in the institute for the electron optical design. In order to cancel the perturbation errors, correctors are implemented in electron optical systems and their effect on imaging will also be studied.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BH - Optika, masery a lasery
CEP - vedlejší obor
JC - Počítačový hardware a software
CEP - další vedlejší obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
20201 - Electrical and electronic engineering
20206 - Computer hardware and architecture
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Byla studována pole a vady vznikající při špatném seřízení elektrod, pólových nástavců a celých elektronově a iontově optických čoček a soustav. Pro jejich výpočet byl vytvořen nový plug-in programu EOD.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2008
Ukončení řešení
31. 12. 2010
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
9. 3. 2010
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP11-AV0-IA-U/02:2
Datum dodání záznamu
28. 6. 2013
Finance
Celkové uznané náklady
1 686 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
1 686 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Uznané náklady
1 686 tis. Kč
Statní podpora
1 686 tis. Kč
0%
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
CEP
BH - Optika, masery a lasery
Doba řešení
01. 01. 2008 - 31. 12. 2010