Koherentní zobrazování nanostruktur v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s plošným detektorem elektronů

Poskytovatel
Akademie věd České republiky
Program
Granty výrazně badatelského charakteru zaměřené na oblast výzkumu rozvíjeného v současné době zejména v AV ČR
Veřejná soutěž
Výzkumné granty 8 (SAV02008-A)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
IAA100650803

Název projektu anglicky
Coherent imaging of nanostructures in a low-energy scanning electron microscope with an area detector of electrons
Anotace anglicky
The contrast mechanisms based on the difference in the distribution of signal electrons recorded for every point of the surface of the bulk sample in very-low energy scanning electron microscope will be studied. The signal electrons escaping from the specimen will be processed using suitable electrostatic electron optics and imaged on a multichannel planar detector. The method will be demonstrated on the observation of diffraction contrast on clean surfaces, on the quantum size contrast on thin films with different thickness and on the contrast on semiconductors with differently doped areas. For the experiments we will use a newly designed optical system with the cathode lens for deceleration of primary beam electrons to the very-low energy, Wien filter for the deflection of signal electrons away from the optical axis and electrostatic transfer lenses. For the acquisition of signal electrons a thinned back-side directly electron-bombarded CCD will be used.

Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - vedlejší obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
CEP - další vedlejší obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Byl rekonstruován REM s velmi nízkou energií elektronů, byly provedeny experimenty zabývající se úhlovým rozdělením signálních elektronů, byl realizován nový způsob řízení předpětí vzorku v katodové čočce, byly připraveny modifikované autoemisní katody.

Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP11-AV0-IA-U/02:2
Datum dodání záznamu
28. 6. 2013

Podobné projekty(10)