Koherentní zobrazování nanostruktur v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s plošným detektorem elektronů
Cíle projektu
Bude studován mechanismus vzniku kontrastu v rastrovacím elektronovém mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů, založený na rozdílech v rozdělení signálních elektronů mezi jednotlivými body povrchu objemového vzorku. Signální elektrony vycházející zevzorku pod různými úhly budou zpracovány vhodnou elektrostatickou elektronovou optikou a zobrazeny na mnohokanálový plošný detektor. Metoda bude ověřena pozorováním difrakčního kontrastu na čistých površích, kontrastu s dělenou amplitudou na tenkých vrstvách a kontrastu mezi různě dopovanými oblastmi polovodiče. Pro experimenty použijeme nově navržený optický systém s katodovou čočkou pro zbrždění elektronů primárního svazku na velmi nízkou energii, s Wienovým filtrem pro odklonění signálních elektronůod optické osy a s elektrostatickými transportními čočkami. Pro detekci signálních elektronů bude použit ztenčený ze zadní strany přímo elektrony bombardovaný CCD.
Klíčová slova
low-energy scanning electron microscopecathode lensWien filtrelectron bombarded CCD
Veřejná podpora
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
Program
Granty výrazně badatelského charakteru zaměřené na oblast výzkumu rozvíjeného v současné době zejména v AV ČR
Veřejná soutěž
Výzkumné granty 8 (SAV02008-A)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
IAA100650803
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Coherent imaging of nanostructures in a low-energy scanning electron microscope with an area detector of electrons
Anotace anglicky
The contrast mechanisms based on the difference in the distribution of signal electrons recorded for every point of the surface of the bulk sample in very-low energy scanning electron microscope will be studied. The signal electrons escaping from the specimen will be processed using suitable electrostatic electron optics and imaged on a multichannel planar detector. The method will be demonstrated on the observation of diffraction contrast on clean surfaces, on the quantum size contrast on thin films with different thickness and on the contrast on semiconductors with differently doped areas. For the experiments we will use a newly designed optical system with the cathode lens for deceleration of primary beam electrons to the very-low energy, Wien filter for the deflection of signal electrons away from the optical axis and electrostatic transfer lenses. For the acquisition of signal electrons a thinned back-side directly electron-bombarded CCD will be used.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - vedlejší obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
CEP - další vedlejší obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
20201 - Electrical and electronic engineering
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Byl rekonstruován REM s velmi nízkou energií elektronů, byly provedeny experimenty zabývající se úhlovým rozdělením signálních elektronů, byl realizován nový způsob řízení předpětí vzorku v katodové čočce, byly připraveny modifikované autoemisní katody.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2008
Ukončení řešení
31. 12. 2010
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
9. 3. 2010
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP11-AV0-IA-U/02:2
Datum dodání záznamu
28. 6. 2013
Finance
Celkové uznané náklady
2 864 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
2 864 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
2 864 tis. Kč
Statní podpora
2 864 tis. Kč
100%
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
CEP
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Doba řešení
01. 01. 2008 - 31. 12. 2010