Detekce signálních elektronů při nízkých energiích primárního svazku v rastrovací elektronové mikroskopii

Poskytovatel

Akademie věd České republiky

Program

Juniorské badatelské grantové projekty

Veřejná soutěž

Juniorské badatelské grantové projekty 3 (SAV02005-J)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

KJB200650501

Název projektu anglicky

Detection of signal electrons in scaning electron microscopy with low primary beam energies

Anotace anglicky

Low energy of signal electrons, especially backscattered electrons, is the reason of lower detectors yield. While the problem of secondary electrons detection was successfully solved by their extraction using a magnetic field and detection in objective lens, efficient detection of backscattered electrons remains unsolved. The project will be aimed on the development of an yttrium aluminium perovskite scintillation detector. The initial energy of backscattered electrons of 0.7-3 kV is the energy, on which the light yield of scintillators decreases. Backscattered electrons with this energy will be accelerated to scintillator by electrostatic field and secondary electrons with maximal energy of 50 eV will be filtered by energy filter or by magnetic field.The influence of different objective lenses on signal electrons trajectories and on detection efficiency of developed detector will be studied in the project. The image interpretation will be focused on the study of contrast mechanisms.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - vedlejší obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - další vedlejší obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

V rámci projektu byl zkonstruován nový scintilační detektor nízkoenergiových zpětně odražených elektronů, kterým byly studovány možnosti zobrazování materiálového kontrastu a pozorování nevodivých vzorků při energiích primárního svazku pod 2 keV.

Zahájení řešení

1. 1. 2005

Ukončení řešení

1. 12. 2007

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

27. 2. 2007

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP08-AV0-KJ-U/02:2

Datum dodání záznamu

3. 4. 2009

Celkové uznané náklady

1 669 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 669 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč