Detekce signálních elektronů při nízkých energiích primárního svazku v rastrovací elektronové mikroskopii
Cíle projektu
Nízká energie signálních elektronů, zejména zpětně odražených elektronů je příčinou snížené výtěžnosti detektorů. Zatímco problém detekce sekundárních elektronů byl úspěšně vyřešen jejich odsáváním v magnetickém poli a detekcí v objektivové čočce, účinnádetekce nízkoenergiových zpětně odražených elektronů dosud zůstala nevyřešena. Projekt bude zaměřen na vypracování scintilačního detektoru na bázi nově vyvinutého monokrystalického ytrito hlihitého perovskytu. Zpětně odražené elektrony o počáteční energii 0,7 - 3 kV, tedy energii, při které klesá světelný výtěžek všech scintilátorů, budou urychleny elektrostatickým polem ke scintilátoru a sekundární elektrony budou odfiltrovány energiovým filtrem nebo magnetickým polem. V rámci projektu budou studoványvlivy různých objektivových čoček na trajektorie signálních elektronů a na detekční účinnost vyvinutého detektoru. Obrazová interpretace bude zaměřena na studium kontrastních mechanismů.
Klíčová slova
low voltage scanning electron microscopydetection of signal electronsbackscattered electronsscintillation detectoryttrium aluminium perovskiteimmersion objective
Veřejná podpora
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
Program
Juniorské badatelské grantové projekty
Veřejná soutěž
Juniorské badatelské grantové projekty 3 (SAV02005-J)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
KJB200650501
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Detection of signal electrons in scaning electron microscopy with low primary beam energies
Anotace anglicky
Low energy of signal electrons, especially backscattered electrons, is the reason of lower detectors yield. While the problem of secondary electrons detection was successfully solved by their extraction using a magnetic field and detection in objective lens, efficient detection of backscattered electrons remains unsolved. The project will be aimed on the development of an yttrium aluminium perovskite scintillation detector. The initial energy of backscattered electrons of 0.7-3 kV is the energy, on which the light yield of scintillators decreases. Backscattered electrons with this energy will be accelerated to scintillator by electrostatic field and secondary electrons with maximal energy of 50 eV will be filtered by energy filter or by magnetic field.The influence of different objective lenses on signal electrons trajectories and on detection efficiency of developed detector will be studied in the project. The image interpretation will be focused on the study of contrast mechanisms.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP - vedlejší obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - další vedlejší obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
20201 - Electrical and electronic engineering
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
V rámci projektu byl zkonstruován nový scintilační detektor nízkoenergiových zpětně odražených elektronů, kterým byly studovány možnosti zobrazování materiálového kontrastu a pozorování nevodivých vzorků při energiích primárního svazku pod 2 keV.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2005
Ukončení řešení
1. 12. 2007
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
27. 2. 2007
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP08-AV0-KJ-U/02:2
Datum dodání záznamu
3. 4. 2009
Finance
Celkové uznané náklady
1 669 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
1 669 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
1 669 tis. Kč
Statní podpora
1 669 tis. Kč
100%
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
CEP
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Doba řešení
01. 01. 2005 - 01. 12. 2007