Studium vlivu magnetického a elektrostatického pole na zesílení signálu sekundárních elektronů detekovaných novým detektorem pro VP-SEM.

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 13 (SGA02010GA-ST)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

P102-10-1410

Název projektu anglicky

The study of the influence of magnetic and electric fields for amplification of secondary electron signals detected by a novel detector in VP-SEM.

Anotace anglicky

The project deals with a topical and very important problem, the study of influence of electrostatic and magnetic field on amplification and energy-selective detection of SEs in the high pressure conditions of VP-SEM. The theoretical part of the submitted project is focused to study and simulations of the electron gas interactions, the signal generation, the ion generation and their density as well as a the study of recombination processes with the help of extension of the EOD program based on the MonteCarlo algorithm. The practical part of this project is focused on realization of the unique true secondary and backscattered electron detector, where the secondary electrons are multiplied by the influence of the magnetic field in the high pressure conditions and deflected by the electrostatic field towards detection electrode located around the specimen. The BSEs are detected by the new CRY018 single crystal placed above the specimen.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Projekt se zabýval způsoby a metodami detekce elektronů v ESEM, byl otestován nový detektor ISEDS, byl navržen a ověřen detektor odražených elektronů s monokrystalem nové generace CRY18 se špičkovými parametry. Výsledky jak věcné tak publikační jsou ade?

Zahájení řešení

1. 1. 2010

Ukončení řešení

31. 12. 2013

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

6. 6. 2013

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP14-GA0-GA-U/01:1

Datum dodání záznamu

1. 7. 2014

Celkové uznané náklady

3 725 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

3 725 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč