Detekční systém pro záznam signálů čistých sekundárních nebo zpětně odražených elektronů v ESEM

Poskytovatel

Akademie věd České republiky

Program

Juniorské badatelské grantové projekty

Veřejná soutěž

Juniorské badatelské grantové projekty 4 (SAV02006-B)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

KJB200650602

Název projektu anglicky

Detection system for the record of the pure secondary electrons or backscattered electrons signals in ESEM

Anotace anglicky

The project deals with the detection of true SEs with suppressed influence of undesirable BSEs, which is one of the pending issues in the ESEM. The detection principle is based on the deflection of the SEs by an electrostatic field applied by separationgrid around the specimen and by a retarding grid towards the detection electrode positioned in the plain of the specimen. A suitable configuration of the electrostatic fields also allows an efficient suppression of the SEs, which arise as the products ofthe impact between the BSEs and molecules of gases. The result of the detection system function will be evaluated by measuring the contribution of backscattered electrons in the detected signal showing image contrasts. The attention will also be focusedon the study of biological specimens and voltage contrast of semiconductor specimens with this detection system.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BH - Optika, masery a lasery

CEP - vedlejší obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - další vedlejší obor

JI - Kompositní materiály

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

V průběhu projektu byl navržen nový systém pro detekci pravých sekundárních a zpětně odražených elektronů, který se skládá ze tří detektorů. Jeden z nich, detektor ISEDS, umožňuje detekci výrazně zesíleného signálu energiově selektovaných elektronů.

Zahájení řešení

1. 1. 2006

Ukončení řešení

31. 12. 2008

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

21. 2. 2008

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP09-AV0-KJ-U/04:4

Datum dodání záznamu

5. 11. 2013

Celkové uznané náklady

1 545 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 545 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč