Výzkum detekčních systémů pravých sekundárních elektronů v nově koncipovaném environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu
Cíle projektu
Environmentální rastrovací elektronová mikroskopie (EREM) se řadí k posledním trendům mikroskopických metod. Umožňuje pracovat v komoře vzorku s tlaky vyššími než ve standardním REM (cca. 103Pa oproti 10-3Pa) a pozorovat vzorky v jejich přirozeném vlhkémstavu bez předchozí preparace a bez nežádoucích nabíjecích artefaktů na jejich povrchu. Byla vyřešena celá řada problémů spojených s touto metodikou, nicméně některé nedostatky zůstávají nedořešeny. Projekt se zabývá jedním z nich - detekcí pravých sekundárních elektronů způsobem, který zcela potlačuje vliv nežádoucích zpětně odražených elektronů. Princip detekce spočívá v odsávání sekundárních elektronů ze vzorku umístěného v prostředí vysokého tlaku plynu do prostředí vysokého vakua v němž je umístěnscintilátor s vysokým elektrodovým potenciálem. Sekundární elektrony jsou odsávány pomocí nízkého elektrostatického pole do dvou komor s diferenciálně čerpaným tlakem plynu. Tyto komory jsou odděleny aperturními clonami tvořícími současně
Klíčová slova
environmental microscopesecondary electronsscintillation detector
Veřejná podpora
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Standardní projekty
Veřejná soutěž
Standardní projekty 8 (SGA02005GA-ST)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
102/05/0886
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Investigation of the true secondary electrons detection systems in the newly conceived environmental scanning electron microscope
Anotace anglicky
Environmental scanning electron microscopy (ESEM) belongs to the last trends of microscopic methods. It enables working in the specimen chamber with pressures higher than in a standard SEM (approx. 103Pa in comparison with 10-3Pa) and observation of specimens in their natural wet state without previous preparation. A number of problems connected with this methodology has been solved, nevertheless, several imperfections are not finished yet. The project deals with one of them - detection of true secondary electrons using a way totally suppressing the influence of undesirable backscattered electrons. The principle of the detection is the exhaust of secondary electrons from the specimen placed in the environment of high pressure of gas to the environmentof high vacuum, in which the scintillator with high electrode potential is placed. The secondary electrons are exhausted using the low electrostatic field to the space of two chambers with differentially pumped pressure of gas. These chambers
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP - vedlejší obor
BH - Optika, masery a lasery
CEP - další vedlejší obor
JI - Kompositní materiály
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
20201 - Electrical and electronic engineering
20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Řešení projektu přineslo nové poznatky v oblasti detekce sekundárních elektronů v environmentální rastrovací elektronové mikroskopii (EREM), a to jak scintilačně fotonásobičovým detektorem sekundárních elektronů, tak ionizačním a segmentovým ionizačním d
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2005
Ukončení řešení
31. 12. 2007
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
2. 5. 2007
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP08-GA0-GA-U/04:3
Datum dodání záznamu
16. 12. 2008
Finance
Celkové uznané náklady
3 485 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
3 485 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Uznané náklady
3 485 tis. Kč
Statní podpora
3 485 tis. Kč
0%
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
CEP
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Doba řešení
01. 01. 2005 - 31. 12. 2007