Výzkum detekčních systémů pravých sekundárních elektronů v nově koncipovaném environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 8 (SGA02005GA-ST)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

102/05/0886

Název projektu anglicky

Investigation of the true secondary electrons detection systems in the newly conceived environmental scanning electron microscope

Anotace anglicky

Environmental scanning electron microscopy (ESEM) belongs to the last trends of microscopic methods. It enables working in the specimen chamber with pressures higher than in a standard SEM (approx. 103Pa in comparison with 10-3Pa) and observation of specimens in their natural wet state without previous preparation. A number of problems connected with this methodology has been solved, nevertheless, several imperfections are not finished yet. The project deals with one of them - detection of true secondary electrons using a way totally suppressing the influence of undesirable backscattered electrons. The principle of the detection is the exhaust of secondary electrons from the specimen placed in the environment of high pressure of gas to the environmentof high vacuum, in which the scintillator with high electrode potential is placed. The secondary electrons are exhausted using the low electrostatic field to the space of two chambers with differentially pumped pressure of gas. These chambers

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - vedlejší obor

BH - Optika, masery a lasery

CEP - další vedlejší obor

JI - Kompositní materiály

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Řešení projektu přineslo nové poznatky v oblasti detekce sekundárních elektronů v environmentální rastrovací elektronové mikroskopii (EREM), a to jak scintilačně fotonásobičovým detektorem sekundárních elektronů, tak ionizačním a segmentovým ionizačním d

Zahájení řešení

1. 1. 2005

Ukončení řešení

31. 12. 2007

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

2. 5. 2007

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP08-GA0-GA-U/04:3

Datum dodání záznamu

16. 12. 2008

Celkové uznané náklady

3 485 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

3 485 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč