Nové prvky pro separaci a detekci elektronů v rastrovacím mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů

Poskytovatel

Akademie věd České republiky

Program

Granty výrazně badatelského charakteru zaměřené na oblast výzkumu rozvíjeného v současné době zejména v AV ČR

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

—

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

New elements for the separation and detection of electrons in a very low energy SEM

Anotace anglicky

The aim of the submitted project is the study of the electron optical properties of detection system in a low energy scanning electron microscope consisting of a Wien filter and an electrostatic transport optics. The project involves both theoretical andexperimental investigation of the behaviour of the Wien filter. We will perform accurate computations of electron optical properties and aberrations for primary and signal beams, and we will study the behaviour of the signal beam on passing through an electrostatic transport optics in order to characterize their effect on angular and energy distribution of electrons in the signal beam. The measurement of the optical properties of the detector arrangement will be performed in an UHV system with a pointelectron projection.

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

BH - Optika, masery a lasery

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Byla provedena konstrukce a výroba dílů pro ultravakuovou aparaturu pro experimentální studium vlastností Wienova filtru. Bylyprovedeny teoretické výpočty chování filtru a odchylovače. Dosud se však nepodařilo získat experimentální výsledky.

Zahájení řešení

1. 1. 1998

Ukončení řešení

1. 1. 2000

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2001/AV0/AV01IA/U/N/4:2

Datum dodání záznamu

—

Celkové uznané náklady

1 425 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

526 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč