A diagnostics of pulsed plasma generated in systems with plasma jets used for technological applications of thin film deposition.
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
The research grant projects for juniors
Call for proposals
Juniorské badatelské grantové projekty 6 (SAV02008-B)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
KJB100100805
Alternative language
Project name in Czech
Diagnostika pulzního plazmatu generovaného v systémech s plasmovými kanály určených pro technologické aplikace depozice tenkých vrstev.
Annotation in Czech
Navrhovaný projekt si klade za cíl provádět diagnostiku několika zdrojů plazmatu generovaných za sníženého, případně i atmosférického tlaku. Tyto plazmatické systémy pracující s proudícími kanály - plazmatické trysky byly nedávno vyvinuty a úspěšně vyzkoušeny v sekci Optika Fzú AV ČR. Plasma v nich je generováno pomocí stejnosměrného, vysokofrekvenčního (13,56 MHz) nebo mikrovlnného (2,45 GHz) výboje, případně jejich kombinacemi. Tyto systémy byly již úspěšně použity pro nízkoteplotní vytváření vrstev TiNx, CuNx, ZnO, Li-ZnO, PZT, BTO, STO, BSTO, TiOx a dalších oxidů na površích různých materiálů, například polymerů. Pro širší uplatnění těchto systémů je však nutné provést systematickou in-situ diagnostiku generovaného plazmatu s cílem optimalizovat podmínky nanášení vrstev. Předpokládá se vývoj a použití časově rozlišené kalorimetrické a Langmuirovy sondy, laserové absorpční a emisní spektroskopie a vytvoření základního modelu přenosu energie z výboje do substrátu.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Plasma-jet and planar magnetron deposition systems were characterised by several diagnostics methods. One was showed that pulsing of plasma has significant influence on thin film properties. Further both depositing systems demonstrate different behaviour
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2008
Realization period - end
Dec 31, 2010
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Mar 9, 2010
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP11-AV0-KJ-U/02:2
Data delivery date
Jun 14, 2011
Finance
Total approved costs
946 thou. CZK
Public financial support
946 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK