Process for preparing microporous layers of silicon nitride in quartz ampoules and apparatus for making the same

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F15%3A10319208" target="_blank" >RIV/00216208:11320/15:10319208 - isvavai.cz</a>

Result on the web

<a href="http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10071912&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=" target="_blank" >http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10071912&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Způsob a zařízení pro přípravu mikroporézních vrstev nitridu křemíku v křemenných ampulích

Original language description

Způsob přípravy mikroporézní vrstvy nitridu křemíku v křemenných ampulích spočívá v tom, že se křemenná ampule vloží do pece o výchozí laboratorní teplotě, opatří se plynotěsnou hlavicí, zapne se ohřev pece a křemenná ampule se vyhřeje na pracovní teplotu. Dále se plní průtokově metanem, přitom probíhá pyrolýza metanu, přičemž se pyrolýzní uhlík usazuje na stěnu křemenné ampule a uhlík se nechá reagovat s povrchem křemenné ampule, přičemž se tvoří aktivní vrstva křemíku, která se nechá omývat proudem čpavku. Při stále protékajícím čpavku se zavede do křemenné ampule směs silanu a vodíku a podává se řízeně vstupním elektromagnetickým ventilem do odměřovací komůrky a přítok směsi silanu a vodíku do křemenné ampule se zastaví a za stálého průtoku čpavku se křemenná ampule ve vypnuté peci nechá chladnout na laboratorní teplotu. Zařízení k provádění způsobu přípravy mikroporézních vrstev nitridu křemíku v křemenných ampulích je vytvořeno z reakční části, čerpací části, části zavádění metanu, části zavádění čpavku a části směšování silanu s vodíkem složené z podčásti zásobování silanem a podčásti zásobování vodíkem.

Czech name

Způsob a zařízení pro přípravu mikroporézních vrstev nitridu křemíku v křemenných ampulích

Czech description

Způsob přípravy mikroporézní vrstvy nitridu křemíku v křemenných ampulích spočívá v tom, že se křemenná ampule vloží do pece o výchozí laboratorní teplotě, opatří se plynotěsnou hlavicí, zapne se ohřev pece a křemenná ampule se vyhřeje na pracovní teplotu. Dále se plní průtokově metanem, přitom probíhá pyrolýza metanu, přičemž se pyrolýzní uhlík usazuje na stěnu křemenné ampule a uhlík se nechá reagovat s povrchem křemenné ampule, přičemž se tvoří aktivní vrstva křemíku, která se nechá omývat proudem čpavku. Při stále protékajícím čpavku se zavede do křemenné ampule směs silanu a vodíku a podává se řízeně vstupním elektromagnetickým ventilem do odměřovací komůrky a přítok směsi silanu a vodíku do křemenné ampule se zastaví a za stálého průtoku čpavku se křemenná ampule ve vypnuté peci nechá chladnout na laboratorní teplotu. Zařízení k provádění způsobu přípravy mikroporézních vrstev nitridu křemíku v křemenných ampulích je vytvořeno z reakční části, čerpací části, části zavádění metanu, části zavádění čpavku a části směšování silanu s vodíkem složené z podčásti zásobování silanem a podčásti zásobování vodíkem.

Type

P - Patent

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/TA03010103" target="_blank" >TA03010103: Research and development of apparatus and technology for zone purification and synthesis of single crystals of CdTe-based semiconductors for optoelectronic applications</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2015

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Patent/design ID

305576

Publisher

CZ001 -

Publisher name

Industrial Property Office

Place of publication

Prague

Publication country

CZ - CZECH REPUBLIC

Date of acceptance

Nov 4, 2015

Owner name

Univerzita Karlova v Praze

Method of use

A - Výsledek využívá pouze poskytovatel

Usage type

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence