Mechanical stresses studied by optical methods in diamond-like carbon films containing Si and O

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010888" target="_blank" >RIV/00216224:14310/04:00010888 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/00216305:26210/04:PU47103

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Mechanical stresses studied by optical methods in diamond-like carbon films containing Si and O

Original language description

In this paper the quantitative dependence of the mechanical stress inside diamond-like carbon films containing Si and O atoms on a flow rate ratio of methane CH4 and hexamethyldisiloxane C6H18Si2O in the deposition mixture is determined. For this purposethe modified Stoney's formula is employed. The important quantities taking place in this formula, i.e. the radius of curvature of the spherical surface of a deformed silicon substrate because of the film stress and the film thickness, are determined using the combined optical method based on two-beam interferometry, variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry. It is shown that the influence of the flow rate ratio on the values of the mechanical stresses takingplace inside these films is negligible within the experimental accuracy achieved for determining these stresses if the total flow rate of gases used to be constant in the deposition mixture. A discussion of this fact is also performed. Th

Czech name

Mechanická napětí v diamantu podobných uhlíkových vrstvách obsahující Si a O studovaná pomocí optických metod

Czech description

V tomto článku je určena kvantitativní závislost mechanických napětí uvnitř diamantu podobných uhlíkových vrstev obsahujících Si a O na poměru průtoků metanu a hexamethyldisiloxanu v deposiční směsi. Pro tento účel je využita modifikovaná Stoneyova formule. Významné veličiny vyskytující se v této formuli, tj. poloměr křivosti sférického povrchu křemíkové podložky deformované kvůli napětí ve vrstvě a tloušťka vrstvy, jsou určeny pomocí dvoupaprskové interference, víceúhlové spektroskopické elipsometrie aspektroskopické reflektometrie aplikované při kolmém dopadu světla. Je ukázáno, že vliv poměru průtoků na hodnoty mechanického napětí uvnitř vrstev je zanedbatelný v rámci experimentální přesnosti dosažené při určení tohoto napětí, pokud celkový tok plynů v deposiční směsi je konstantní. Diskuse této skutečnosti je také provedena. Studované vrstvy byly připraveny pomocí plasmově podporované chemické deposice.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA101%2F04%2F2131" target="_blank" >GA101/04/2131: Realization of thelaboratory digital spectrophotometer for the wide spectral region</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

SPIE's 49th Annual Meeting

ISBN

0-8194-5465-6

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

9

Pages from-to

139-147

Publisher name

SPIE - The International Society for Optical Engineering

Place of publication

Bellingham, Washington, USA

Event location

August 4-5, 2004, Denver, Colorado, USA

Event date

Jan 1, 2004

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—