Stress measurement in thin layers with aid of combined optical method

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F05%3APU48561" target="_blank" >RIV/00216305:26210/05:PU48561 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/00216224:14310/05:00012755

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Měření mechanického napětí v tenkých vrstvách pomocí kombinované optické metody

Original language description

Je popsána optická metoda měření mechanického napětí v tenkých vrstvách. Metoda je založena na určování poloměrů zakřivení deformovaných podložek , která vznikají v důsledku napětí ve vrstvách vytvořených na těchto podložkách. Hodnoty napětí jsou počítány pomocí modifikované Stoneovy rovnice. Hodnoty tlouštěk tenkých vrstev jsou určeny pomocí metody založené na interpretaci experimentálních dat získaných v rámci víceúhlové spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie. Metoda je využitapro určení hodnot mechanických napětí ve vrstvách DLC vytvořených na podložkách z monokrystalu křemíku, které obsahují příměsi Si a O. Je studována závislost hodnot napětí v těchto vrstvách na hodnotách poměru průtoků hexametyldisiloxanu a metanu.

Czech name

Měření mechanického napětí v tenkých vrstvách pomocí kombinované optické metody

Czech description

Je popsána optická metoda měření mechanického napětí v tenkých vrstvách. Metoda je založena na určování poloměrů zakřivení deformovaných podložek , která vznikají v důsledku napětí ve vrstvách vytvořených na těchto podložkách. Hodnoty napětí jsou počítány pomocí modifikované Stoneovy rovnice. Hodnoty tlouštěk tenkých vrstev jsou určeny pomocí metody založené na interpretaci experimentálních dat získaných v rámci víceúhlové spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie. Metoda je využitapro určení hodnot mechanických napětí ve vrstvách DLC vytvořených na podložkách z monokrystalu křemíku, které obsahují příměsi Si a O. Je studována závislost hodnot napětí v těchto vrstvách na hodnotách poměru průtoků hexametyldisiloxanu a metanu.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA101%2F04%2F2131" target="_blank" >GA101/04/2131: Realization of thelaboratory digital spectrophotometer for the wide spectral region</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Jemná mechanika a optika

ISSN

0447-6441

e-ISSN

—

Volume of the periodical

50

Issue of the periodical within the volume

3

Country of publishing house

CZ - CZECH REPUBLIC

Number of pages

4

Pages from-to

72-75

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—