Optical characterization of non-uniform thin films using imaging spectrophotometry

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00013299" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00013299 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Optical characterization of non-uniform thin films using imaging spectrophotometry

Original language description

In this paper the method of imaging spectrophotometry enabling us to characterize non-absorbing thin films non-uniform in the optical parameters is described. This method is based on interpreting the spectral dependences of the local absolute reflectances measured at the normal incidence of light. It is shown how to determine the area distribution of thickness and refractive index of the non-absorbing non-uniform thin films by treating these reflectances. Moreover, the generalization of the method for the optical characterization of slightly absorbing non-uniform thin films is also indicated. Furthermore, the two-channel imaging spectrophotometer enabling us to apply the method of imaging reflectometry is described. The procedure for determining the spectral dependences of the local absolute reflectance in the points aligned in a matrix situated on the illuminated area of the non-uniform thin film by means of the spectrophotometer is also presented. The practical advantages of the meth

Czech name

Optická charakterizace neuniformních tenkých vrstev pomocí zobrazovací spektrofotometrie

Czech description

V článku je popsána metoda zobrazovací spektrofotometrie, která umožňuje charakterizovat neabsorbující tenké vrstvy neuniformní v optických parametrech. Tato metoda je založena na interpretaci spektrálních závislostí lokální absolutní odrazivosti naměřených při kolmém dopadu světla. Je ukázáno jak určit plošné rozdělení tloušťky a indexu lomu neabsorbujících neuniformních tenkých vrstev zpracováním těchto odrazivostí. Navíc zobecnění metody pro optickou charakterizaci slabě absorbujících neuniformních tenkých vrstev je také naznačena. Kromě toho je popsán dvoukanálový zobrazovací spektrofotometr dovolující aplikovat metodu zobrazovací reflektometrie. Metoda pro určení spektrálních závislostí lokální absolutní odrazivosti v bodech seřazených do matice umístěné na osvětlené ploše neuniformní vrstvy pomocí spektrofotometru je také presentována. Praktické výhody metody jsou specifikovány. Metoda je ilustrována pomocí optické charakterizace vybrané epitaxní tenké vrstvy ZnSe připravené použ

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA101%2F04%2F2131" target="_blank" >GA101/04/2131: Realization of thelaboratory digital spectrophotometer for the wide spectral region</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Advances in Optical Thin Films II

ISBN

0-8194-5981-X

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

9

Pages from-to

—

Publisher name

SPIE - The International Society for Optical Engineering

Place of publication

Bellingham, Washington, USA

Event location

September 13-15, 2005, Jena, Germany

Event date

Jan 1, 2005

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—