Electron Cyclotron Resonance Plasma and Ion Sources Design and Use

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F04%3APU46068" target="_blank" >RIV/00216305:26220/04:PU46068 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Electron Cyclotron Resonance Plasma and Ion Sources Design and Use
Original language description
Various configurations of Electron Cyclotrone Resonance (ECR) plasma reactors were reported recently for emerging new applications as nanotubes, nanorods, nanobells and field emission devices. Basic principles of ECR plasma generation and the most important features are here discussed. A simple ECR plasma and ion source design is described and examples of some parameter dependences are given.
Czech name
Konstrukce a využití plazmového a iontového zdroje v režimu elektronové cyklotronové rezonance
Czech description
Plazmové reaktory v režimu elektronové cyklotronové rezonance (ECR) jsou v poslední době stále vice používány pro nové aplikace v oblasti nanotechnologií. V článku je popsáno generování plazmatu v režimu ECR a jsou diskutovány nejdůležitější mechanismy,které se zde uplatňují. Je uvedena konstrukce jednoduchého plazmového a iontového zdroje v režimu ECR a jsou popsány jeho vlastnosti a naměřené parametry.

Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Electronic Devices and Systems 2004. Proceedings.
ISBN
80-214-2701-9
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
251-254
Publisher name
Ing. Zdeněk Novotný, CSc., Brno, Ondráčkova 105
Place of publication
Brno
Event location
Brno
Event date
Sep 9, 2004
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)