Pulse power supply for magnetron sputtering.
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F05%3APU54614" target="_blank" >RIV/00216305:26220/05:PU54614 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Pulse power supply for magnetron sputtering.
Original language description
An experimental pulse power supply source for magnetron pulse sputtering has been designed and built. The mean power is 750 W with peak power capability up to 3 kW. The testing was performed on the own design magnetron sputtering device with good coolingcapability. Cathode voltage and cathode current were recorded during both ON-Pulse and OFF-Pulse. This monitoring of the target current and voltage shows that transient spikes occur and the waveforms differ from idealized behavior. The voltage spike at tthe beginning of the ON-Pulse brings high energy electrons into the magnetron discharge. Because the discharge current is low in the starting part of the ON-Pulse species created in this time are supposed to be more favorable for the generation of radicals than for sputtering. During the Off-Pulse the discharge current first decays rapidly and later more slowly to zero, but it is not falling to zero completely when the Off-Pulse is shorter than 10 μs about. This two-step decay of t
Czech name
Pulsní zdroj pro magnetronové naprašování
Czech description
Byl sestaven pulsní zdroj pro magnetronové naprašování. Maximální výkon je 750 W s možností okamžitého výkonu v pulsu až 3 kW. Monitorování napětí a proudu katody magnetronu prokázalo, že na počátku každého napájecího pulsu je přechodový děj, ve kterám vznikají elektrony s velkou energií. Po odeznění přechodového děje se velikost energie elektronů v objemu plazmatu přibližuje hodnotě, která odpovídá stejnosměrnému napájení.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2005
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Socrates Workshop
ISBN
80-214-3042-7
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
6
Pages from-to
163-168
Publisher name
Nakl. Novotný
Place of publication
Brno
Event location
Chania, Crete, Greece
Event date
Sep 21, 2005
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—