Reactive magnetron sputtering nitride layer for passivation of crystalline silicon solar cells
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F06%3APU63195" target="_blank" >RIV/00216305:26220/06:PU63195 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Reactive magnetron sputtering nitride layer for passivation of crystalline silicon solar cells
Original language description
Reactive magnetron sputter deposition brings high deposition rate with a possibility to control the layer thickness with comparatively high precision. We deposited the currently used material in the photovoltaic industry - silicon nitride passivation layer. The aim of work was evaluation of both front side and back side surface recombinations and optical properties of sputtered layers and they comparison with passivation layers on standard solar cells made by Solartec company (Czech republic).
Czech name
Nitridové vrstvy pro pasivaci krystalických solárních článků deponované reaktivním magnetronovým naprašováním
Czech description
Reaktivní magnetronové naprašovaní přináší přináší vysokou depoziční rychlost a relativně přesnou tloušťku deponované pasivační vrstvy. V naší práci deponujeme průmyslově nejpoužívanější materiál pro pasivaci solárních článků - nitrid křemíku (SiNx). Cílem je vytvoření kvalitní pasivace, pro redukci povrchových defektů na obou stranách křemíkového substrátu spolu s dobrými optickými vlastnostmi danné vrstvy. Výsledky porovnáváme se standardními články vyráběnými firmou Solartec s.r.o.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
21st European Photovoltaic Solar Energy Conference
ISBN
3-936338-20-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
822-825
Publisher name
WIP-Renewable Energies
Place of publication
NEUVEDEN
Event location
Dresden
Event date
Sep 4, 2006
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—