RTP Annealing of Silicon Wafers with High and Low Minority Carrier Lifetime
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F10%3APU92776" target="_blank" >RIV/00216305:26220/10:PU92776 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Žíhání metodou RTP křemíkových substrátů s vysokou a nízkou dobou života minoritních nosičů náboje
Original language description
Rychlé Tepelné Procesy RTP jsou jednou z používaných technologií v polovodičovém průmyslu. Mezi její vlastnosti patří dosažení vysokých teplot (až 1400C) během několika sekund (až 200C/s). Takových vlastností je možné dosahovat halogenovými lampami, které slouží jako zdroj tepla a IR záření. Křemíkový substrát je v peci položen a nestojí v lodičce jako u běžných pecí. Lampami je substrát ohříván shora a zdola. Ohřívá se po celém povrchu a nevzniká zde gradient teploty mezi okrajem a prostředkem desky. Předešlými experimenty jsme prokázali, že žíháním metodou RTP je možné značně zvýšit dobu života minoritních nosičů. Tento jev byl pozorován na p-typových deskách s charakteristickými obrazci - swirls patrnými při měření metodou MWPCD. Jako nejvhodnější se z celé škály teplotních profilů ukázal ten, při němž docházelo k žíhání 310C po dobu 10 sekund. Tento jev zvýšení doby života minoritních nosičů náb
Czech name
Žíhání metodou RTP křemíkových substrátů s vysokou a nízkou dobou života minoritních nosičů náboje
Czech description
Rychlé Tepelné Procesy RTP jsou jednou z používaných technologií v polovodičovém průmyslu. Mezi její vlastnosti patří dosažení vysokých teplot (až 1400C) během několika sekund (až 200C/s). Takových vlastností je možné dosahovat halogenovými lampami, které slouží jako zdroj tepla a IR záření. Křemíkový substrát je v peci položen a nestojí v lodičce jako u běžných pecí. Lampami je substrát ohříván shora a zdola. Ohřívá se po celém povrchu a nevzniká zde gradient teploty mezi okrajem a prostředkem desky. Předešlými experimenty jsme prokázali, že žíháním metodou RTP je možné značně zvýšit dobu života minoritních nosičů. Tento jev byl pozorován na p-typových deskách s charakteristickými obrazci - swirls patrnými při měření metodou MWPCD. Jako nejvhodnější se z celé škály teplotních profilů ukázal ten, při němž docházelo k žíhání 310C po dobu 10 sekund. Tento jev zvýšení doby života minoritních nosičů náb
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2010
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Sborník příspěvků z 5. České fotovoltaické konferfence
ISBN
978-80-254-8906-2
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
120
Pages from-to
79-81
Publisher name
Neuveden
Place of publication
Neuveden
Event location
Brno
Event date
Nov 10, 2010
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—