Reactive Magnetron Sputtering of the Aluminium Oxide Coating
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F16%3APU120573" target="_blank" >RIV/00216305:26220/16:PU120573 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="http://www.feec.vutbr.cz/EEICT/2016/sbornik/EEICT-2016-sborn%C3%ADk-komplet.pdf" target="_blank" >http://www.feec.vutbr.cz/EEICT/2016/sbornik/EEICT-2016-sborn%C3%ADk-komplet.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev oxidu hlinitého
Original language description
Článek pojednává o návrhu a experimentálnímu ověření a testování depozičních parametů pro nově instalovaný hliníkový terč. Na základě získaných údajů depozičního procesu a hystereze naprašování bylo ověřeno vytváření vrstev Al2O3. Tento postup umožnil rozpoznání hranic mezi reaktivním a metalickým módem. Navržené hranice vytvořily technologické okno pro naprašování vrstev Al2O3.Vytvořené vrstvy byly testované na mechanické a optické vlastnosti a adhezi.
Czech name
Reaktivní magnetronové naprašování vrstev oxidu hlinitého
Czech description
Článek pojednává o návrhu a experimentálnímu ověření a testování depozičních parametů pro nově instalovaný hliníkový terč. Na základě získaných údajů depozičního procesu a hystereze naprašování bylo ověřeno vytváření vrstev Al2O3. Tento postup umožnil rozpoznání hranic mezi reaktivním a metalickým módem. Navržené hranice vytvořily technologické okno pro naprašování vrstev Al2O3.Vytvořené vrstvy byly testované na mechanické a optické vlastnosti a adhezi.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Others
Publication year
2016
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Proceedings of the 22nd Conference STUDENT EEICT 2016
ISBN
978-80-214-5350-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
3
Pages from-to
231-233
Publisher name
Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Place of publication
Brno
Event location
Brno
Event date
Apr 28, 2016
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—