Final Product Specification for FRTI3031 <110> 625 ?m or 525 ?m Polished Wafers
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F26821532%3A_____%2F13%3A%230000056" target="_blank" >RIV/26821532:_____/13:#0000056 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Final Product Specification for FRTI3031 <110> 625 ?m or 525 ?m Polished Wafers
Original language description
Polished Silicon wafer with crystallographic orientation <110>. Wafer diameter 150 mm, Czochralski growth method, On-orientation, <110> 0.0° ? 0.5°, slightly boron doped, flatness <1 um GTIR, total thickness variation < 1 um, bow and warp < 20 um.
Czech name
—
Czech description
—
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
JJ - Other materials
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/FR-TI3%2F031" target="_blank" >FR-TI3/031: Research and Development of Technologies of Manufacturing of Novel Species of Silicon Wafers</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2013
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
FRTI3031 <110>
Numerical identification
—
Technical parameters
CZ Si, 150 mm, <110> 0.0° ? 0.5°, flat 47.5 mm On <1-11> ? 0.3°, flatness <1 um GTIR, total thickness variation < 1 um, bow and warp < 20 um, Oi 26.0 ? 36.0 ppma, R 0.3 - 1.0 ohmcm.
Economical parameters
Cena: MAX. 30 USD/Si wafer.
Application category by cost
—
Owner IČO
26821532
Owner name
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o., právní nástupce
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—