Final Product Specification for FRTI3031 <110> 625 ?m or 525 ?m Polished Wafers

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F26821532%3A_____%2F13%3A%230000056" target="_blank" >RIV/26821532:_____/13:#0000056 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Final Product Specification for FRTI3031 <110> 625 ?m or 525 ?m Polished Wafers
Original language description
Polished Silicon wafer with crystallographic orientation <110>. Wafer diameter 150 mm, Czochralski growth method, On-orientation, <110> 0.0° ? 0.5°, slightly boron doped, flatness <1 um GTIR, total thickness variation < 1 um, bow and warp < 20 um.
Czech name
—
Czech description
—

Project
<a href="/en/project/FR-TI3%2F031" target="_blank" >FR-TI3/031: Research and Development of Technologies of Manufacturing of Novel Species of Silicon Wafers</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2013
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Internal product ID
FRTI3031 <110>
Numerical identification
—
Technical parameters
CZ Si, 150 mm, <110> 0.0° ? 0.5°, flat 47.5 mm On <1-11> ? 0.3°, flatness <1 um GTIR, total thickness variation < 1 um, bow and warp < 20 um, Oi 26.0 ? 36.0 ppma, R 0.3 - 1.0 ohmcm.
Economical parameters
Cena: MAX. 30 USD/Si wafer.
Application category by cost
—
Owner IČO
26821532
Owner name
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o., právní nástupce
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)