Technology of ZnO films preparation by MW PECVD with defined conductivity and grain size
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F12%3A%230000019" target="_blank" >RIV/27711170:_____/12:#0000019 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Technologický postup přípravy ZnO vrstev MW PECVD metodou s definovanou vodivosti a velikosti zrna
Original language description
Byla vyvinuta plazmová PECVD technologie pripravy tenkych vrstev ZnO dopovanych Al v mikrovlnnem vyboji s povrchovou vlnou a plazmovým proudícím kanálem. Pomocí tohoto technologickeho postupu lze kontrolou podmínek při procesu dosáhnout definované velikosti krystalického zrna, elektrické vodivosti vrstvy a její tloušťky.
Czech name
Technologický postup přípravy ZnO vrstev MW PECVD metodou s definovanou vodivosti a velikosti zrna
Czech description
Byla vyvinuta plazmová PECVD technologie pripravy tenkych vrstev ZnO dopovanych Al v mikrovlnnem vyboji s povrchovou vlnou a plazmovým proudícím kanálem. Pomocí tohoto technologickeho postupu lze kontrolou podmínek při procesu dosáhnout definované velikosti krystalického zrna, elektrické vodivosti vrstvy a její tloušťky.
Classification
Type
N<sub>metC</sub> - Methodology certified by the authorised body
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TA01011740" target="_blank" >TA01011740: Hybrid high-density low-temperature microwave plasma sources in matrix configuration suitable for growth of advanced materials and their (nano) composites on 2D and 3D substrates</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2012
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
MWZnO-2012-01
Regulation ID
A-MWZnO-2012-01
Technical parameters
Byla vyvinuta plazmová PECVD technologie pripravy tenkych vrstev ZnO dopovanych Al v mikrovlnnem vyboji s povrchovou vlnou a plazmovým proudícím kanálem. Pomocí tohoto technologickeho postupu lze kontrolou podmínek při procesu dosáhnout definované velikosti krystalického zrna, elektrické vodivosti vrstvy a její tloušťky
Economical parameters
Metodika bude sloužit jako podpůrný produkt prodeje MWPECVD zařízení. V rámci implementace certifikované metodiky do zmíněného MWPECVD zařízení očekáváme navýšení ceny tohoto zařízení cca o 4%.
Certification body designation
SVCS Process Innovation s.r.o.
Date of certification
—
Method of use
A - Výsledek využívá pouze poskytovatel