A methodics of measurement of composition of inlet (reaction) and outlet (waste) gas mixtures with of mass spectrometer for optimization of process LPCVD and PECVD.
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F14%3A%230000046" target="_blank" >RIV/27711170:_____/14:#0000046 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Metodika měření složení vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů LPCVD a PECVD.
Original language description
Byla vyvinuta metodika měření složení vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů LPCVD a PECVD. Tato metodika optimalizuje spotřebu procesních (reakčních) plynů a chemikálií proprocesy LPCVD a PECVD.
Czech name
Metodika měření složení vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů LPCVD a PECVD.
Czech description
Byla vyvinuta metodika měření složení vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů LPCVD a PECVD. Tato metodika optimalizuje spotřebu procesních (reakčních) plynů a chemikálií proprocesy LPCVD a PECVD.
Classification
Type
N<sub>metC</sub> - Methodology certified by the authorised body
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TA01020972" target="_blank" >TA01020972: Modification of the particular technology facilities of the batch processes for the yield enhancement of the highly efficient silicon solar cells using the numerical and physical pre- and post-processing models CFD-ACE+ and Flow Simulation.</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2014
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data specific for result type
Internal product ID
CM 2014-03
Regulation ID
CM 2014-03
Technical parameters
Při aplikaci principů popsaných v dané metodice dochází při ladění procesu ke snížení počtu ladících procesních várek o 40%
Economical parameters
Metodika bude sloužit jako podpůrný produkt prodeje MWPECVD zařízení. V rámci implementace certifikované metodiky do zmíněného MWPECVD zařízení očekáváme navýšení ceny tohoto zařízení cca o 4%.
Certification body designation
SVCS Process Innovation s.r.o.
Date of certification
—
Method of use
A - Výsledek využívá pouze poskytovatel